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孙毅
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6
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供职机构:
中国电子科技集团公司第四十一研究所
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相关领域:
电子电信
化学工程
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合作作者
马子腾
中国电子科技集团公司第四十一研...
王进
中国电子科技集团公司第四十一研...
许延峰
中国电子科技集团公司第四十一研...
阴磊
中国电子科技集团公司第四十一研...
李鸽
中国电子科技集团公司第四十一研...
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作者
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孙毅
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王进
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马子腾
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许延峰
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李鸽
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阴磊
年份
1篇
2020
1篇
2019
1篇
2018
1篇
2017
1篇
2016
1篇
2014
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一种高精度超薄THz薄膜电路制作方法
本发明公开了一种高精度超薄THz薄膜电路制作方法,提供一玻璃基板;在玻璃基板表面上淀积第一金属铜层;在该第一金属铜层上制作光刻胶掩膜和电镀第二金属铜层;去除光刻胶掩膜,在第一金属铜层和第二金属铜层表面淀积一层二氧化硅介质...
王进
许延峰
马子腾
孙毅
高冕
柏栓
汤柏林
阴磊
文献传递
一种薄膜电路通孔金属化镀膜方法
本发明提供了一种薄膜电路通孔金属化镀膜方法,采用磁控溅射真空镀膜技术实现陶瓷电路通孔金属化镀膜,此种镀膜技术最大优点是对被沉积材料没有限制,只要能制成靶材,就可以实现镀膜;另外还具有成膜设备简单、重复性好、膜层牢固、适合...
孙毅
许延峰
王进
马子腾
文献传递
一种薄膜电路通孔金属化镀膜方法
本发明提供了一种薄膜电路通孔金属化镀膜方法,采用磁控溅射真空镀膜技术实现陶瓷电路通孔金属化镀膜,此种镀膜技术最大优点是对被沉积材料没有限制,只要能制成靶材,就可以实现镀膜;另外还具有成膜设备简单、重复性好、膜层牢固、适合...
孙毅
许延峰
王进
马子腾
一种薄膜电路测试用金属保护膜的制备方法
本发明公开了一种薄膜电路测试用金属保护膜的制备方法,其包括以下步骤:在镀有TaN/TiW/Au金属膜的陶瓷基片上涂覆一层光刻胶,再采用光刻的方法去除所述镀膜陶瓷基片非电路图形部分的光刻胶;将光刻处理的所述镀膜陶瓷基片进行...
王进
马子腾
李鸽
孙毅
文献传递
一种薄膜电路测试用金属保护膜的制备方法
本发明公开了一种薄膜电路测试用金属保护膜的制备方法,其包括以下步骤:在镀有TaN/TiW/Au金属膜的陶瓷基片上涂覆一层光刻胶,再采用光刻的方法去除所述镀膜陶瓷基片非电路图形部分的光刻胶;将光刻处理的所述镀膜陶瓷基片进行...
王进
马子腾
李鸽
孙毅
文献传递
一种高精度超薄THz薄膜电路制作方法
本发明公开了一种高精度超薄THz薄膜电路制作方法,提供一玻璃基板;在玻璃基板表面上淀积第一金属铜层;在该第一金属铜层上制作光刻胶掩膜和电镀第二金属铜层;去除光刻胶掩膜,在第一金属铜层和第二金属铜层表面淀积一层二氧化硅介质...
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