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孔祥吉

作品数：4 被引量：4H指数：2
供职机构：大连理工大学更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划大连市科技计划项目国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇自动化与计算...

主题

  • 2篇电机
  • 2篇电路
  • 2篇视觉系统
  • 2篇数据转化
  • 2篇切边
  • 2篇集成电路
  • 2篇硅片
  • 2篇步进
  • 2篇步进电机
  • 2篇进电机
  • 1篇特征提取
  • 1篇图像
  • 1篇图像传感器
  • 1篇机器人
  • 1篇机器人视觉
  • 1篇机器人视觉系...
  • 1篇感器
  • 1篇边缘信息
  • 1篇传感
  • 1篇传感器

机构

  • 4篇大连理工大学

作者

  • 4篇孔祥吉
  • 3篇丛明
  • 3篇杜宇
  • 2篇张传思
  • 2篇金立刚
  • 2篇沈宝宏
  • 1篇刘静

传媒

  • 1篇机械工程学报

年份

  • 2篇2008
  • 2篇2007
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
硅片预对准机器人边缘信息采集处理方法被引量：2
2008年
针对90 nm工艺、300 mm直径大尺寸硅片对制造设备的新要求,提出一种硅片边缘信息采集、处理方法,并在此基础上建立硅片预对准机器人视觉系统。该方法在小波阈值折衷去噪的基础上,利用最小二乘回归拟合和坐标加权平均的数值方法,通过对硅片边缘特征点的标定、过滤、综合和提取,有效地实现CCD采集信号向特征位置数据的转换,解决大尺寸硅片位置信息的获取和分析问题。重复定位精度测量试验结果表明,硅片预对准机器人视觉系统完成了硅片中心、缺口的检测定位,硅片预对准机器人对准精度达到了技术指标的要求,提高了整套硅片预对准系统的工作性能。
丛明孔祥吉刘静杜宇
关键词：视觉系统
一种硅片预对准装置
本发明属于集成电路装备制造技术领域，特别涉及一种硅片预对准装置及其方法。该预对准装置包括：水平对心单元，TCD检测单元，投光单元，承片台单元和数据转化及控制单元。其中水平对心单元用于调整硅片的Y向偏移；TCD检测单元用于...
丛明杜宇张传思孔祥吉沈宝宏金立刚
文献传递
硅片预对准机器人视觉系统研究
硅片预对准机器人视觉系统是硅片预对准机器人的重要组成部分，负责硅片信息的采集、检测和处理，并根据得到的结果控制机械本体完成预对准动作。视觉系统的工作能力是硅片预对准机器人能否实现精确定位和对准的关键。 本课题结...
孔祥吉
关键词：图像传感器视觉系统特征提取
文献传递
一种硅片预对准装置
本发明属于集成电路装备制造技术领域，特别涉及一种硅片预对准装置及其方法。该预对准装置包括：水平对心单元，TCD检测单元，投光单元，承片台单元和数据转化及控制单元。其中水平对心单元用于调整硅片的Y向偏移；TCD检测单元用于...
丛明杜宇张传思孔祥吉沈宝宏金立刚
文献传递
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