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周增圻
作品数:
17
被引量:20
H指数:3
供职机构:
中国科学院半导体研究所
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国家光电子工艺中心
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中国科学院半导体研究所
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中国科学院半导体研究所
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分子束外延GaN/GaAs立方相异质结构的电子显微分析
被引量:2
1999年
运用透射电子显微镜分析了分子束外延的立方相GaN/GaAs异质微观结构.在GaN外延层中,观察到大量的、不对称的{111}面缺陷(层错和微孪晶),以及失配位错在该大失配界面上的非优化排列。
韩培德
杨海峰
杨辉
林耀望
张泽
李新峰
周增圻
关键词:
砷化镓
电子显微分析
分子束外延
化学束外延在光电子技术应用中的进展
1995年
本文简要介绍了CBE技术,综述了近年来CBE在光电子技术领域内取得的进展。
周增圻
关键词:
化学束外延
光电子技术
化学汽相淀积
MBE InGaAs/GaAs外延层晶胞弛豫直接测量的X射线双晶衍射方法
被引量:2
1997年
本文采用了以解理面为衍射基面,直接测量水平弛豫的方法测量了InxGa1-xAs(衬底为GaAs,x~0.1)外延层的应变及其弛豫状态.在以解理面为衍射基面的衍射曲线上清楚地观测到了衬底峰与外延峰的分裂.表明当InGaAs层厚度较厚(~2μm)时,InGaAs外延层与衬底GaAs已处于非共格生长状态,同时发现大失配的InGaAs晶胞并没有完全弛豫恢复到自由状态.其平行于表面法线的晶格参数略大于垂直方向上的晶格参数(△a/a~10-3).并且晶胞在弛豫过程中产生了切向应变.在考虑了切向应变的基础上准确地确定出了InGaAs层的In组分x.
庄岩
王玉田
马文全
林耀望
周增圻
关键词:
MBE
MOCVD
外延层
X射线双晶衍射
三角形点结构的MBE生长及其量子阱限制能量的横向变化
1998年
本文首次报道了在腐蚀图形的(311)A衬底上,一种新型三角形点结构的MBE生长及其量子阱限制能量的横向变化研究.原子力显微镜三维图象清晰地显示出在原腐蚀凹面图形之间的平面区域,MBE选择性生长形成了均匀的三角形收缩结构,其尖角沿[233]方向,收缩面由对称的{111}A面构成.低温阴极荧光谱和图象测试研究结果表明:这种点状外延结构存在三个分离的荧光发射区域,分别对应于三个不同的激发光波长.说明这种点结构中量子阱层厚度的变化引入了量子阱限制能量的横向变化.低温微区光致发光谱测试得到高度可分辨的三个发光峰,结果说明在围绕点状结构顶部区域形成了13meV横向势垒,且具有较高的辐射复合发光效率.
牛智川
周增圻
韩勤
吴荣汉
R.Notzel
U.Jahn
M.Ramsteiner
K.H.Ploog
关键词:
MBE生长
GaAsGa基长波长(In)NAs材料系的分子束外延生长
潘钟
李联合
王海
张伟
林耀望
周增圻
关键词:
GAAS基长波长
分子束外延生长
MBE生长面发射激光器的原位厚度监测
1996年
在MBE生长“DBR型结构性材料”的过程中,由于生长中的多层结构干涉效应,使高温黑体辐射谱呈现振荡现象,利用此现象辅以计算机数据拟合,可以实现MBE生长中层次、组分和厚度的实时监控,对MBE系统生长垂直腔型结构材料的实时质量监控有重要意义.我们首次在国内采用这项技术,利用红外高温仪对VCSEL器件生长全过程(包括谐振腔)及多种组分DBR的表观衬底热辐射振荡进行监测,采用准黑体模型,结合扫描电镜、光反射谱等结果进行了分析,理论与实验得到了较好的吻合.
周增圻
潘钟
林耀望
吴荣汉
王圩
关键词:
MBE生长
面发射激光器
激光器
GaAs脊形量子线发光性质的光致发光谱研究
1998年
本文报道了用MBE非平面生长方法制备的GaAs脊形量子线发光性特实验研究.低温、微区、变温和极化光致发光谱等的测试分析表明:这种由{113}面构成的脊形量子线具有发光各向异性、激子束缚能明显大于侧面量子阱等特点.
牛智川
袁之良
周增圻
徐仲英
王守武
关键词:
砷化镓
光致发光谱
量子线
发光特性
MBE生长轻掺Si高迁移率GaAs材料的杂质补偿特性研究
被引量:1
1995年
本文报道了用MBE生长轻掺Si高迁移率GaAs材料的杂质补偿特性实验研究.已得到77K温度下迁移率为16.2×104cm2/(V·s)的GaAs材料.样品的Hall测量结果表明:在较低的杂质浓度范围(1×1013cm-3<n<1×1015cm-3)内,在大体相同的生长温度(590℃左右)下,选择适当的生长速率Gr会增强对浅受主杂质的抑制作用,同时也会抑制Si的自补偿效应,减小杂质的补偿度Na/Nd之值,从而提高MBE外延GaAs材料的迁移率.
牛智川
周增圻
林耀望
李朝勇
关键词:
砷化镓
MBE生长
掺杂
迁移率
可用于器件的侧墙GaAs量子线列阵结构
被引量:1
1999年
本文介绍了一种可以实用的侧墙式GaAs量子线及其列阵结构.沿〔01-1〕方向腐蚀条形的(311)A衬底上,分子束外延生长的各向异性导致了侧墙量子线结构的形成.用光栅刻蚀方法,制备了横向周期为1μm、纵向三层叠加的三维侧墙量子线列阵.阴极荧光谱研究表明:在5K下,发光主要来自量子线区域,在两侧的量子阱区域只有很弱的发光峰;认为低温下载流子主要束缚在量子线区域,在量子阱区域也有少量载流子被外延层涨落产生的局域态所束缚.随温度升高到85K以上直至室温下,只能观察到来自量子线区域的发光峰.这是由于束缚在量子阱局域态中的载流子大部分由于热激发而弛豫至量子线区域,参与量子线的发光.这种量子线列阵横向限制能量达到了220meV,表明该量子线列阵结构可以用于制备发光等实用器件.
牛智川
周增圻
潘钟
吴荣汉
关键词:
砷化镓
氢原子辅助MBE生长对GaAs外延面形貌的影响
被引量:1
1998年
本文研究了MBE通常生长条件和氢原子辅助生长条件下(100)、(331)、(210)、(311)等表面外延形貌的变化.原子力显微镜AFM测试的结果表明:(100)表面在氢原子辅助生长条件下外延面的岛状起伏变得更为平坦,二维生长模式得到增强;(331)面在两种条件下均显示出台阶积累(stepbunching)式生长,而氢原子辅助生长则减小了台阶结构的横向周期;(210)面在氢原子辅助生长下也使原表面存在的岛状结构尺寸减小;在(311)表面氢原子诱导的作用明显地增强了台阶积累生长模式.本文认为氢原子诱导作用机制在于:外延面台阶处As原子和H原子结合减小了表面结合能,导致Ga原子表面迁移长度的减小,增强了台阶积累生长效应;而对于平坦的(100)表面氢原子的诱导作用使得Ga迁移长度增加,导致二维生长模式的进一步增强.
牛智川
周增圻
吴荣汉
关键词:
砷化镓
MBE
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