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枕型二维位置敏感探测器（PSD）的研制: 本文证明了枕型二维PSD设计的基本原理—Gear定理,并指出了适用于枕型二维PSD的位置计算公式,此外本文还提出了枕型PSD的制作工艺和测试结果。我们采用IC工艺技术所研制的枕型PSD器件表现出良好的光电特性和测量准确度...; 唐九耀林进军孙晓斌; 关键词：位置敏感探测器硅光电探测器; 文献传递

枕型二维位置敏感探测器的研制被引量：10: 2005年; 　证明了枕型二维位置敏感探测器设计的基本原理———Gear定理,并推导了适用于枕型二维位置敏感探测器的位置计算公式,此外还提出了枕型二维位置敏感探测器的制作工艺和测试结果。采用集成电路工艺所研制的枕型二维位置敏感探测器(光敏面为8 mm×8 mm)表现出良好的光电特性,当反偏为5 V时其暗电流约为15 nA,峰值时的光谱灵敏度超过了0.6 A/W。在所测量的 75%光敏区域内,均方根位置误差约为 0.135 mm,而以均方根位置误差表示的非线性度在1.1%左右,比四边形二维位置敏感探测器的位置线性度提高了近一个数量级。; 唐九耀林进军孙晓斌; 关键词：光学器件位置敏感探测器

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林进军