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杨将
作品数:
2
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供职机构:
哈尔滨工业大学
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相关领域:
电子电信
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合作作者
吴勇超
哈尔滨工业大学
毕延帅
哈尔滨工业大学
史新妍
哈尔滨工业大学
刘杨
哈尔滨工业大学
王公峰
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作者
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杨将
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陈兴林
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王公峰
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刘杨
1篇
史新妍
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毕延帅
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吴勇超
年份
2篇
2013
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光刻机双工件台系统上位机软件设计
集成电路、半导体元器件等超精密器件已经被广泛应用在各行各业中,而光刻机作为研制和生产超精密器件的主流设备也变得尤为重要。双工件台系统是光刻机的关键子系统。光刻机双工件台系统的控制系统主要由上位机和下位机两部分组成。下位机...
杨将
关键词:
光刻机
上位机
网络通信
三维仿真
软件设计
文献传递
一种基于虚拟现实技术的双工件台半物理仿真系统
一种基于虚拟现实技术的双工件台半物理仿真系统,涉及一种双工件台半物理仿真系统。是为了适应对双工件台半物理仿真的需求。它包括上位机、基于VME总线工控机和三维仿真模型三个部分,上位机与工控机之间通过以太网进行数据和指令的传...
刘杨
吴勇超
陈兴林
王公峰
杨将
毕延帅
史新妍
文献传递
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