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史新妍
作品数:
4
被引量:1
H指数:1
供职机构:
哈尔滨工业大学
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相关领域:
电气工程
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合作作者
陈兴林
哈尔滨工业大学
王伟峰
哈尔滨工业大学
刘川
哈尔滨工业大学
李慧璐
哈尔滨工业大学
吴勇超
哈尔滨工业大学
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作者
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史新妍
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陈兴林
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李慧璐
2篇
刘川
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王伟峰
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杨将
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1篇
2014
2篇
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基于VxWorks的光刻机双工件台控制系统的内存管理器及管理方法
基于VxWorks的光刻机双工件台控制系统的内存管理器及管理方法,属于光刻机工作台控制系统的内存管理技术领域。本发明为了解决现有基于VxWorks的光刻机双工件台控制系统的内存管理方法由于会产生大量的碎片,而影响系统正常...
陈兴林
刘川
史新妍
李慧璐
王伟峰
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一种基于虚拟现实技术的双工件台半物理仿真系统
一种基于虚拟现实技术的双工件台半物理仿真系统,涉及一种双工件台半物理仿真系统。是为了适应对双工件台半物理仿真的需求。它包括上位机、基于VME总线工控机和三维仿真模型三个部分,上位机与工控机之间通过以太网进行数据和指令的传...
刘杨
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陈兴林
王公峰
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毕延帅
史新妍
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六自由度磁浮电机建模及控制研究
磁浮平面电机具有结构简单、动态特性好、定位精度高等特点,广泛应用于光刻机六自由度运动控制场合。本文以六自由度动磁式磁浮平面电机为研究对象,在分析磁场的基础上,建立了磁浮平面电机在定子磁场中的受力和力矩模型,研究了直接力旋...
史新妍
关键词:
平面电机
磁悬浮
重复控制
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基于VxWorks的光刻机双工件台控制系统的内存管理器及管理方法
基于VxWorks的光刻机双工件台控制系统的内存管理器及管理方法,属于光刻机工作台控制系统的内存管理技术领域。本发明为了解决现有基于VxWorks的光刻机双工件台控制系统的内存管理方法由于会产生大量的碎片,而影响系统正常...
陈兴林
刘川
史新妍
李慧璐
王伟峰
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