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硅片传输机器人控制系统的研究与开发: 集成电路(IC)是电子信息产业的核心，应用于IC的IC制造装备是半导体产业发展的支柱，在整个半导体产业的发展中扮演着重要的角色。而硅片传输机器人是IC制造装备中不可缺少的关键设备，它的速度、重复定位精度直接或者间接的影响...; 周玉敏; 关键词：机器人控制系统人机交互集成电路伺服驱动; 文献传递

基于PMAC的硅片传输机器人控制器的设计与实现被引量：10: 2006年; 在半导体制造业中,硅片传输机器人承担着硅片的精确定位、快速搬运等复杂任务,这对硅片传输机器人的控制器提出了严格的要求,因此对硅片传输机器人的控制模块进行系统的研究有着重要意义。本文以美国DeltaTauDataSystems公司的PMAC多轴运动控制器为例介绍了PMAC在硅片传输机器人控制器中的开发与应用,并以该公司的PMAC2-PC104型控制卡为核心,结合电气和气动回路,设计和建立了R-θ型(径向直线运动型)硅片传输机器人的开放式控制器,实现了硅片传输机器人的运动控制。; 丛明张士军周玉敏金立刚; 关键词：硅片传输机器人 PMAC 机器人控制器

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周玉敏