王知学
- 作品数：4 被引量：5H指数：1
- 供职机构：大连理工大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 控制技术在GaN薄膜生长过程中的应用
- 以GaN为主的Ⅲ-Ⅴ族氮化物是近年来光电子材料领域研究的热门课题。它具有
宽直接带隙、热导率高、抗辐射能力强等特性，是最有潜力的高温半导体材料。我室在
1995年初设计研制成功...
- 王知学
- 关键词：控制技术GAN薄膜生长
- 文献传递
- GaN生长工艺流程实时监控系统被引量：2
- 2002年
- 文章分析了在ECR-MOCVD装置上外延生长GaN单晶薄膜的工艺过程特点和在此过程中影响GaN结晶质量的主要因素。在此基础上,设计了一套由80C31单片机为核心的光电隔离电路和PC机组成的两级系统,用于GaN薄膜外延生长的工艺流程监控,并提出了一种合适的工艺流程监控策略。
- 王三胜顾彪徐茵王知学杨大智
- 关键词：GAN半导体材料实时监控系统
- GaN生长工艺流程实时监控系统被引量：1
- 2002年
- 分析了在ECR-MOCVD装置上外延生长GaN单晶薄膜的工艺过程特点和在此过程中影响GaN结晶质量的主要因素。在此基础上,设计了一套以80C31单片机为核心的光电隔离电路和PC机组成的两级系统,用于GaN薄膜外延生长的工艺流程监控,并提出了一种合适的工艺流程监控策略。
- 王三胜顾彪徐茵王知学杨大智
- 关键词：实时监控光电隔离氮化镓
- GaN生长工艺流程实时监控系统被引量：1
- 2001年
- 分析了在 ECR-MOCVD装置上外延生长 Ga N单晶薄膜的工艺过程特点和在此过程中影响 Ga N结晶质量的主要因素 .在此基础上 ,设计了一套由 80 C31单片机为核心的光电隔离电路和 PC机组成的两级系统 ,用于 Ga N薄膜外延生长的工艺流程监控 .并提出了一种合适的工艺流程监控策略 ,阐述了如何从软件上确保工艺流程的连续可靠运行 .实践证明 ,软硬件系统设计合理、抗干扰措施完善 ,很好地保证了工艺流程的连续可靠运行 ,实验数据的可靠性和工艺流程的可重复性也大大提高 ,并对类似系统的工艺过程自动化设计具有一定的指导借鉴意义 .
- 王三胜顾彪徐茵王知学杨大智
- 关键词：半导体工艺实时监控光电隔离氮化镓GAN
