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李妍君
作品数:
16
被引量:14
H指数:2
供职机构:
沈阳仪表科学研究院有限公司
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相关领域:
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机械工程
电子电信
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合作作者
李颖
沈阳仪器仪表工艺研究所
庞世信
沈阳仪表科学研究院有限公司
乔文华
沈阳仪器仪表工艺研究所
徐开先
沈阳仪表科学研究院有限公司
陈信琦
沈阳仪表科学研究院有限公司
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1篇
1999
2篇
1998
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1997
2篇
1996
3篇
1995
共
16
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E型扩散硅力敏器件的设计与制作
简述了E型膜片的结构特性,根据其应力分布特点及硅材料(110)晶面的<111>晶向上具有最大压阻系数,开展了力敏芯片的最佳设计,并进行了E型力敏器件的制作。最后给出了器件的主要技术指标。
李妍君
乔文华
关键词:
力传感器
扩散膜
传感器
力敏器件
扩散硅
E 型扩散硅力敏器件的研制
被引量:1
1997年
本文阐述了E型膜片的结构特性,根据其应力分布特点及硅材料在(110)晶面的<111>晶向上具有最大压阻系数,开展了力敏芯片的最佳设计,并进行了E型力敏器件的制作。最后给出了器件的主要技术指标。
庞世信
李妍君
乔文华
关键词:
硅
差压
力敏器件
传感器
SG-75扩散硅压力传感器
李妍君
徐广忠
关键词:
压力传感器
批量生产用压力传感器综合性能参数测试系统
2000年
通过叙述自行设计与制作的压力传感器综合性能参数测试系统 ,介绍了一种适于传感器批量生产的实用的测试技术。该测试系统设计功能强、工作效率高、测试技术先进、测试方法科学 ,在传感器的批量生产中行之有效。
李颖
李妍君
张大伟
关键词:
传感器
测试系统
微差压传感器膜片成型技术的研究
压传感器采用EI型膜片结构,其膜片成型技术包括两方面的内容,正面Ⅰ型梁的形成和背面E型杯的加工。最终形成的EI型膜片其厚度仅为20μM,该文通过对这一技术的叙述,介绍了微差压传感器膜片型成型中的关键工艺和结果,实践证明,...
李颖
李妍君
吴丁民
章学群
关键词:
微差压传感器
工业变送器用绝压传感器的研制
介绍了新研制的工业变送器用扩散硅式绝对压力传感器。文中阐述了绝压传感器的设计原理及其关键技术,给出了实验结果,并对研制中的若干问题作了一定的探讨。
李妍君
王传家
关键词:
霍尔传感器
流量计
单片机
工业变送器用75系列扩散硅压力传感器
2000年
介绍了工业变送器用 75系列扩散硅压力传感器。其整体结构为全固态结构 ;其硅膜片结构分别为C型、E型和EI型三种形式 ;测量范围为 0 6kPa~ 5 0MPa;使用温区为 - 3 0~ +80℃ ;全量程。
李妍君
李颖
吴丁民
关键词:
变送器
传感器
扩散硅
压力传感器
SG-75扩散硅压力传感器
1996年
本文介绍了工业压力变送器用全固态结构的SG-75扩散硅压力传感器的研制。传感器压力范围0.16~50MPa,满量程输出120~230mV/0.78mA,精度0.2%F·S,工作温区-30~90℃。该传感器现已批量生产。
庞世信
李妍君
唐伟
关键词:
扩散硅
传感器
EI型扩散硅力敏器件工艺技术研究
被引量:1
1995年
本文叙述的EI型扩散硅力敏器件为工业变送器配套使用的微差压传感器,其压力量程为0.6kPa,线性优于0.5%。该器件填补国内空白,器件性能指标达到国际80年代中期同类产品先进水平。
李妍君
乔文华
吴丁民
关键词:
扩散硅
力敏器件
压差传感器
变送器
加速发展传感器技术迎接21世纪挑战
论述了作为21世纪信息技术支柱之一的传感器技术的重要性及其发展其产业的时代性和迫切性。针对我国目前传感器发展的现状和存在的问题,提出了适时发展我国传感器技术及其产业所应采取的对策。
李妍君
关键词:
传感器
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