李亚威
- 作品数：9 被引量：8H指数：2
- 供职机构：南开大学更多>>
- 发文基金：教育部高校骨干教师资助计划天津市自然科学基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 基于部件库的MEMS设计环境原形系统研究与实现
- 卢桂章安刚刘景泰赵新李彬张蕾车秀阁谭宜勇任亮王凯李亚威周弋云
- 发表论文：基于部件库的MEMS设计方法、MEMS虚拟组装设计的建模研究、微机械虚拟运行的实现框架、Virtual Process：Concept，Problems and Implementation Framework...
- 关键词：
- 关键词：MEMS部件库虚拟现实
- 虚拟MEMS加工工艺的定义、关键技术与实现框架被引量：2
- 2004年
- 首先提出了虚拟MEMS加工工艺的概念，它是利用图形动态生长，来模拟每步工艺过程，整个工艺过程中形状变化均包含在虚拟工艺中。其次，分析了实现虚拟工艺所涉及的关键技术：工艺描述、工艺模型和加工过程的可视化。第三，给出了基于专家系统技术的虚拟工艺实现框架。最后，实现了一种表面硅工艺的例子，初步验证了实现框架时间和精确度的可行性。
- 赵新李亚威任亮卢桂章
- 关键词：微电子机械系统虚拟现实专家系统知识库
- 基于虚拟现实技术的MEMS设计环境
- 赵新卢桂章刘景泰安刚张蕾张红光谭宜勇任亮王凯杜书印金桐孙广毅李亚威周弋云
- 该课题在现有的静态分析基础上，研究对所设计的MEMS器件建立动态（运动）模型；针对特定的工艺过程，提取专家知识，建立虚拟工艺；建立MEMS部件库的整体框架，部件描述和应用将现有成功的MEMS器件，收集进入部件库；以部件库...
- 关键词：
- 关键词：虚拟现实
- 虚拟MEMS加工工艺建模、实现与系统验证被引量：4
- 2005年
- 利用虚拟现实技术对MEMS加工工艺进行仿真,并将其引入设计环节,最终可以解决MEMS生产中设计与加工脱节的问题.MEMS加工工艺的核心是工艺模型.首先,在深入分析单步MEMS加工工艺的基础上给出了规则描述的工艺模型,其次,利用专家系统技术实现了系统.进一步用一种全新的器件微流量泵的工艺设计和虚拟加工过程验证了系统的可扩充性.
- 赵新任亮李亚威卢桂章
- 关键词：MEMS可扩充性虚拟现实技术仿真
- MEMS虚拟加工工艺研究与实现
- 该文提出了MEMS虚拟加工工艺的概念,着眼于在MEMS设计阶段对加工工艺进行仿真.具体说,就是将通常MEMS设计得到的工艺描述文件作为输入,经虚拟加工工艺过程,映像到作为输出的MEMS部件三维几何形状.其中虚拟加工工艺过...
- 李亚威
- 关键词：MEMS虚拟现实专家系统
- 文献传递
- 基于虚拟现实技术的具有部件库的MEMS设计环境研究
- 卢桂章赵新辛运帏张蕾谭宜勇任亮杜书印王凯周懿云李明李亚威余斌
- MEMS是用硅工艺制造的微小器件，它和一般IC的主要不同点是在运行过程中要产生变形或者与其他物质有相对运动。因此，制造出来的MEMS器件的机械性能能不能达到设计的要求，是成功的关键。该课题从三个方面进行研究：动态模型建立...
- 关键词：
- 关键词：部件库硅工艺MEMS
- 虚拟微电子工艺过程研究
- 虚拟微电子工艺过程研究包括两部分内容:一方面,力图通过深入分析每一单步工艺过程的特点,建立起典型微电子工艺参数与所生成部件几何形状的关系,即工艺模型;另一方面,根据工艺模型,研究对应具体工艺过程,部件几何形状的部件剖面图...
- 赵新李亚威李明卢桂章刘景泰张蕾王晓娜
- 关键词：微电子机械系统
- 文献传递
- 基于专家系统技术的MEMS虚拟工艺库被引量：2
- 2004年
- 虚拟工艺是MEMS器件计算机辅助设计中对工艺过程仿真的部分 ,根据版图设计、层定义和工艺文件来生成器件模型 ,并进行三维模型显示 .本文在虚拟工艺库中引入了专家系统的技术 ,将已有的工艺知识分别描述成专家系统知识库中的规则 ,推理机部分与知识库分离 ,使系统有较好的可扩充性 .本文给出了一个剖面图的实例 ,证明其可行性 .
- 李亚威赵新任亮卢桂章
- 关键词：专家系统MEMS计算机辅助设计微电子机械系统
- 虚拟微电子工艺过程研究
- 虚拟微电子工艺过程研究包括两部分内容:一方面,力图通过深入分析每一单步工艺过程的特点,建立起典型微电子工艺参数与所生成部件几何形状的关系,即工艺模型;另一方面,根据工艺模型,研究对应具体工艺过程,部件几何形状的部件剖面图...
- 赵新李亚威李明卢桂章刘景泰张蕾王晓娜
- 关键词：微电子机械系统
- 文献传递
