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彭力
作品数:
2
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供职机构:
无锡微电子科研中心
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
自动化与计算机技术
电子电信
金属学及工艺
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合作作者
邓宁
清华大学信息科学技术学院微电子...
朱军
清华大学信息科学技术学院微电子...
潘立阳
清华大学信息科学技术学院微电子...
陈志勇
无锡微电子科研中心
刘志宏
清华大学信息科学技术学院微电子...
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清华大学
作者
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彭力
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陈培毅
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莫科伟
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刘志宏
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陈志勇
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潘立阳
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朱军
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邓宁
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中国电子学会...
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2006
1篇
2002
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金属铝合金侵蚀研究
本文研究了在半导体生产中出现的金属铝合金侵蚀现象,分析了金属侵蚀的机理,最后给出了金属侵蚀的防护方法.
陈志勇
彭力
莫科伟
关键词:
金属腐蚀
半导体工艺
刻蚀工艺
集成电路
铝合金
文献传递
基于Si Ge量子点实现增强F-N隧穿的低压闪速存储器(英文)
2006年
提出了一种用于半导体闪速存储器单元的新的Si/Si Ge量子点/隧穿氧化层/多晶硅栅多层结构,该结构可以实现增强F-N隧穿的编程和擦除机制.模拟结果表明该结构具有高速和高可靠性的优点.测试结果表明该结构的工作电压比传统NAND结构的存储器单元降低了4V.采用该结构能够实现高速、低功耗和高可靠性的半导体闪速存储器.
邓宁
潘立阳
刘志宏
朱军
陈培毅
彭力
关键词:
闪速存储器
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