张院春
- 作品数：8 被引量：11H指数：3
- 供职机构：中国科学院高能物理研究所更多>>
- 发文基金：中国科学院知识创新工程北京市自然科学基金更多>>
- 相关领域：金属学及工艺航空宇航科学技术一般工业技术电子电信更多>>
- LIGA—EDM复合技术的研究
- 2001年
- 提出LIGA-EDM复合技术技术，即采用LIGA技术制备工具电极的微细电火花加工技术，通过同步辐射尝试光刻得到的胶结构厚度达2mm深宽比约为100，使用电铸技术得到厚度达1mm的铜工县电极，利用该电极进行微细电火花加工实验，在不锈钢上加工出异形小孔阵列．
- 彭良强伊福廷张院春邹丽芸李勇张菊芳韩勇
- 关键词：微加工电铸微机械微细电火花加工
- LIGA和微细EDM技术制造不锈钢微结构的研究被引量：4
- 2002年
- 通过LIGA技术与微细电火花技术相结合 ,可以在硬质合金、不锈钢等材料上加工出微结构 ,这一新的方法必将拓宽微细加工的能力和应用范围。利用LIGA技术制备线宽 70 μm、厚度达 73 0 μm的铜工具电极 ,采用微细电火花技术在不锈钢片上加工出线宽 90 μm、具有复杂形状的微结构。
- 彭良强伊福廷张院春邹丽芸张菊芳韩勇
- 关键词：LIGAEDM技术不锈钢微结构微细加工电火花加工
- 基于LIGA技术的微细电火花加工研究
- 实验探讨了采用LIGA技术制备工具电极的微细电火花加工技术。通过同步辐射深度光刻得到具有微细结构的胶模具,使用电铸技术得到镶嵌在胶结构中的铜工具电极,去胶后利用该电极进行微细电火花加工实验,在不锈钢上加工出异形微细孔。
- 彭良强伊福廷张院春邹丽芸张菊芳韩勇
- 关键词：微细加工LIGA技术电火花加工
- 文献传递
- 大面积微细结构的电火花高效加工
- 2001年
- 采用深度光刻与电铸技术相结合较好地解决了大深宽比的电火花工具电极的制造问题。在此基础上，利用优化的微细电火花加工工艺，可以实现大面积微细结构的高效、精细制造。
- 伊福廷张院春等
- 关键词：电火花加工微细加工微细结构
- 一种微细EDM电极的制造方法
- 2000年
- 针对微细EDM异形电极的加工困难，提出利用同步辐射深度光刻和电铸技术相结合制造EDM电极的方法，可望较好地解决异形电极的制造问题。
- 彭良强张院春等
- 关键词：微细电火花加工电铸
- 一种微细EDM电极的制造方法被引量：5
- 2000年
- 针对微细EDM异形电极的加工难题 ,提出了利用同步辐射深度光刻和电铸技术相结合制造EDM电极的方法 ,可望较好地解决异形电极的制造问题。
- 彭良强伊福廷张菊芳韩勇张院春
- 关键词：电铸电火花加工
- 大面积微细结构的电火花加工被引量：4
- 2002年
- 采用深度光刻与电铸技术相结合的方法 ,较好地解决了大深宽比的电火花工具电极的制造问题。在此基础上 ,利用优化的微细电火花加工工艺 。
- 彭良强伊福廷张菊芳韩勇张院春邹丽芸
- 关键词：电火花加工微细加工工具电极
- 基于LIGA技术的微细电火花加工优化研究
- 结合LIGA技术和微细电火花加工的优点,用LIGA技术制备出具有复杂形状的铜微细工具电极,再用该工具电极进行微细电火花加工,在不锈钢上加工出异形微细孔洞.并通过进一步调整电火花加工工艺参数,优化了加工尺寸精度和表面粗糙度...
- 邹丽芸张院春彭良强黄军容伊福廷张菊芳韩勇
- 关键词：微细加工LIGA技术电火花加工尺寸精度表面粗糙度
- 文献传递
