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李云

作品数：36 被引量：3H指数：1
供职机构：华中科技大学更多>>
相关领域：自动化与计算机技术一般工业技术文化科学医药卫生更多>>

合作作者

文献类型

  • 26篇专利
  • 10篇学位论文

领域

  • 5篇自动化与计算...
  • 3篇一般工业技术
  • 2篇建筑科学
  • 2篇医药卫生
  • 2篇文化科学
  • 2篇理学
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇机械工程
  • 1篇水利工程
  • 1篇轻工技术与工...
  • 1篇农业科学
  • 1篇政治法律

主题

  • 19篇原子层沉积
  • 7篇封装
  • 6篇等离子体增强
  • 6篇前驱体
  • 5篇薄膜封装
  • 4篇喷头
  • 4篇模块化
  • 3篇显示器
  • 3篇改性
  • 3篇改性方法
  • 2篇刀具
  • 2篇电传感器
  • 2篇电信
  • 2篇电信号
  • 2篇电子器件
  • 2篇信号
  • 2篇压电传感
  • 2篇压电传感器
  • 2篇氧化铝薄膜
  • 2篇应力集中

机构

  • 36篇华中科技大学

作者

  • 36篇李云
  • 26篇陈蓉
  • 21篇单斌
  • 19篇曹坤
  • 6篇王晓雷
  • 5篇林源
  • 5篇刘媛媛
  • 4篇马玉春
  • 2篇杨帆
  • 2篇曲锴

年份

  • 1篇2022
  • 6篇2021
  • 5篇2020
  • 10篇2019
  • 5篇2018
  • 4篇2017
  • 1篇2013
  • 1篇2009
  • 1篇2008
  • 1篇2007
  • 1篇1999
共 36 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
干涉滤光膜及其制备方法和发光装置
本发明涉及一种干涉滤光膜及其制备方法和发光装置，包括如下步骤：在基材上依次形成层叠且交替的高折射率材料薄膜和低折射率材料薄膜；其中，基材上的最内层薄膜为第一层高折射率材料薄膜，第一层高折射率材料薄膜采用热原子层渗透工艺沉...
陈蓉张英豪单斌杨帆李云林源
文献传递
最大团问题的算法研究
李云
文献传递
一种高速钢刀具保护涂层的制备方法
本发明属于薄膜制备领域，并具体公开了一种高速钢刀具保护涂层的制备方法，包括：对刀具表面进行预处理，将其置于等离子体增强化学气相沉积设备中沉积微米级无机薄膜；将其置于等离子体增强原子层沉积装备中，在适当的温度、压力及合适的...
陈蓉李云单斌曹坤刘媛媛杨惠之
文献传递
CBRAM中导电丝形成机理的研究
传统的以电荷为存储媒介的存储器，随着工艺尺寸的缩小其面临着微缩极限的问题。因此研究新型的非易失性存储器是很有必要的。由于具有结构简单、便于集成和功耗低等优点，阻变存储器成为了下一代非易失性存储器的候选者之一。而其中以金属...
李云
关键词：第一性原理极化作用
一种用于原子层沉积薄膜疲劳定角弯曲测试机
本实用新型属于薄膜折弯相关领域，并公开了一种用于原子层沉积薄膜疲劳定角弯曲测试机。该测试机包括底板和设置在该底板上的折弯机构、传动机构和驱动机构，折弯机构包括固定连接在底板上第一托架和第二托架，以及相对设置的第一盖板和第...
陈蓉邢泽华单斌曹坤李云刘媛媛杨惠之
一种基于等离子体增强原子层沉积的薄膜掺杂改性方法
本发明属于薄膜掺杂相关技术领域，并公开了一种基于等离子体增强原子层沉积的薄膜掺杂改性方法，该方法用于在目标基底的表面上沉积多层氮掺杂氧化铝薄膜，并包括下列步骤：对基底的清洁和抽真空等预处理；加热至预设温度，并执行清洗处理...
陈蓉刘媛媛单斌曹坤李云杨惠之
一种用于空间隔离原子层沉积的模块化喷头及装置
本发明公开了一种用于空间隔离原子层沉积的模块化喷头及装置。模块化喷头包括：前驱体通道组件、密封组件；前驱体通道组件包括板状基体、前驱体通道、气体管路；前驱体通道布置于板状基体正面，自上而下延伸，前驱体通道的顶端连通气体管...
陈蓉王晓雷单斌李云林骥龙马玉春但威
一种基于压电传感的微振动检测器
本发明属于振动检测领域，并公开了一种基于压电传感的微振动检测器。其包括外壳、质量块、导电环、压电传感器以及缓冲单元，质量块设置在外壳的中心，导电环套在质量块的对称两侧，外壳内壁上均匀设置有多个缓冲单元和压电传感器，支撑块...
陈蓉熊英飞单斌李云曹坤完颜剑锋
一种基片取放及转移装置
本发明公开了一种基片取放及转移装置，包括：第一取放组件、第二取放组件以及转移组件；第一取放组件的第一直线动子通过第一气缸带动第一真空吸盘，依次在初始位置、第一反应位置、第一取放位置之间往复运动；第二取放组件的第二直线动子...
陈蓉马玉春单斌王晓雷林骥龙李云
一种模块化密封式空间隔离原子层沉积薄膜设备
本发明属于微纳制造相关领域，并具体公开了一种模块化密封式空间隔离原子层沉积薄膜设备。该设备包括运动装置、喷头装置、密封装置和反应装置，其中运动装置用于带动密封装置和反应装置沿水平轨道移动，带动喷头装置沿竖直方向移动；喷头...
陈蓉黄奕利曹坤李云邓匡举宋光亮
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