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王晓雷

作品数：12 被引量：2H指数：1
供职机构：华中科技大学更多>>
相关领域：自动化与计算机技术一般工业技术文化科学电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 10篇专利
  • 2篇学位论文

领域

  • 2篇自动化与计算...
  • 1篇电子电信
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇文化科学

主题

  • 6篇喷头
  • 6篇基片
  • 4篇原子层沉积
  • 3篇模块化
  • 2篇导热
  • 2篇真空吸盘
  • 2篇气缸
  • 2篇气体
  • 2篇气相沉积
  • 2篇前躯体
  • 2篇前驱体
  • 2篇抓取
  • 2篇转阀
  • 2篇组件
  • 2篇温度
  • 2篇温度控制
  • 2篇泄露
  • 2篇链接
  • 2篇加热器
  • 2篇保护气体

机构

  • 12篇华中科技大学

作者

  • 12篇王晓雷
  • 10篇单斌
  • 10篇陈蓉
  • 8篇马玉春
  • 6篇李云
  • 4篇何文杰
  • 2篇曹坤

年份

  • 3篇2019
  • 4篇2018
  • 2篇2017
  • 2篇2016
  • 1篇1997
共 12 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种变温薄膜沉积系统
本发明公开了一种变温薄膜沉积系统，包括多个沉积装置和基片转移装置，所述多个沉积装置均匀布设在基片转移装置周围；所述多个沉积装置具有基片温度控制机构，用于分别维持基片承载台温度恒温；所述基片转移装置，包括三维移动装置，所述...
陈蓉王晓雷林骥龙何文杰马玉春但威单斌
文献传递
一种用于空间隔离原子层沉积的模块化喷头及装置
本发明公开了一种用于空间隔离原子层沉积的模块化喷头及装置。模块化喷头包括：前驱体通道组件、密封组件；前驱体通道组件包括板状基体、前驱体通道、气体管路；前驱体通道布置于板状基体正面，自上而下延伸，前驱体通道的顶端连通气体管...
陈蓉王晓雷单斌李云林骥龙马玉春但威
一种基片取放及转移装置
本发明公开了一种基片取放及转移装置，包括：第一取放组件、第二取放组件以及转移组件；第一取放组件的第一直线动子通过第一气缸带动第一真空吸盘，依次在初始位置、第一反应位置、第一取放位置之间往复运动；第二取放组件的第二直线动子...
陈蓉马玉春单斌王晓雷林骥龙李云
高效模块化薄膜沉积系统设计及优化
原子层沉积（ALD）是一种超薄膜制备技术。它因其顺序发生自限制性半反应而被用在厚度精确可控、均匀性、一致性的薄膜制备。ALD技术因其独特的性能引起了其他应用领域的兴趣，如光伏和封装等需要高产量和大规模沉积能力的应用领域。...
王晓雷
关键词：优化设计
一种用于气相沉积薄膜的装置
本发明公开了一种用于气相沉积薄膜的装置，包括反应腔体上盖、反应腔体底座以及加热器；所述反应腔体底座用于承载基片，其与反应腔体上盖活动链接形成气相沉积反应腔，其背部与加热器接触导热；所述反应腔体底座为圆形且具有环形凹槽。本...
陈蓉林骥龙何文杰王晓雷马玉春但威单斌
文献传递
大型局用程控数字交换机中继系统设计与实现
该文重点介绍EIM-601大容量局用程控交换机中继系统的分析、设计、性能评估与测量等相关内容.
王晓雷
关键词：EIM-601中继信令
一种常压下曲面基底的原子层沉积薄膜制备设备
本发明属于微纳制造相关设备领域，并公开了一种常压下曲面基底的原子层沉积薄膜制备设备，它包括喷头模块及对应配备的液压传动模块，其中该喷头模块用于对基底进行原子层沉积，具有空间隔离的作用，并且四周的气浮区可以帮助喷头在经过曲...
陈蓉黄奕利单斌李云曹坤但威王晓雷
一种用于空间隔离原子层沉积的模块化喷头及装置
本发明公开了一种用于空间隔离原子层沉积的模块化喷头及装置。模块化喷头包括：前驱体通道组件、密封组件；前驱体通道组件包括板状基体、前驱体通道、气体管路；前驱体通道布置于板状基体正面，自上而下延伸，前驱体通道的顶端连通气体管...
陈蓉王晓雷单斌李云林骥龙马玉春但威
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一种基片取放及转移装置
本发明公开了一种基片取放及转移装置，包括：第一取放组件、第二取放组件以及转移组件；第一取放组件的第一直线动子通过第一气缸带动第一真空吸盘，依次在初始位置、第一反应位置、第一取放位置之间往复运动；第二取放组件的第二直线动子...
陈蓉马玉春单斌王晓雷林骥龙李云
文献传递
一种常压下曲面基底的原子层沉积薄膜制备设备
本发明属于微纳制造相关设备领域，并公开了一种常压下曲面基底的原子层沉积薄膜制备设备，它包括喷头模块及对应配备的液压传动模块，其中该喷头模块用于对基底进行原子层沉积，具有空间隔离的作用，并且四周的气浮区可以帮助喷头在经过曲...
陈蓉黄奕利单斌李云曹坤但威王晓雷
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