单斌
- 作品数：169 被引量：41H指数：4
- 供职机构：华中科技大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金长江学者和创新团队发展计划国家工程实验室开放基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术文化科学一般工业技术环境科学与工程更多>>
- 基于STM32的卷对卷空间隔离原子层沉积设备张力控制系统设计被引量：3
- 2021年
- 为了改善卷对卷空间隔离原子层沉积设备由于柔性运输基板张力控制引起的薄膜产品质量降低的问题,设计了一种基于STM32的闭环张力自动控制系统以实现张力的精确控制。该系统通过张力传感器对张力进行实时检测,结合PID控制算法通过电气比例阀对气缸出力进行控制,从而实现对张力的闭环控制。将该系统应用在卷对卷空间隔离原子层沉积设备上并进行测试,结果表明:该张力控制系统具有良好的稳定性与可靠性,在设备静止工况下张力的稳态误差最低能达到5%以内,运动工况下的张力波动率最低能达到15%以内。并且在较好的张力控制下,薄膜的制造重复性与产品质量均得到显著改善。
- 宋光亮刘潇陈蓉单斌
- 关键词：STM32PID闭环
- 一种激光雕刻机的运动机构
- 本实用新型公开了一种激光雕刻机的运动机构，包括主动运动机构，从动运动机构，激光头运动机构，第一方向导轨，第二方向运动导轨和支撑框架，第一方向运动导轨为两条，分别固定在支撑框架相对平行的两边框上，主动运动机构和从动运动机构...
- 蒋华伟周涛段献宝单斌陈蓉
- 文献传递
- 一种基于原子层沉积的量子点光电探测器及其制备方法
- 本发明属于光学材料制备领域，并公开了一种基于原子层沉积的量子点光电探测器及其制备方法。该制备方法包括将量子点溶液旋涂在洁净基底上制备第一量子点薄膜，然后将有机物配体溶液滴覆在第一量子点薄膜上并静置一段时间，待配体交换完成...
- 陈蓉姜晨晨单斌曹坤文艳伟周彬泽向勤勇耿士才井尧刘梦佳
- 一种金属氧化物/铂纳米颗粒复合催化剂的制备方法
- 本发明公开了一种金属氧化物/铂纳米颗粒复合催化剂的制备方法，该方法包括：使用原子层沉积方法生长铂纳米催化剂颗粒和金属氧化物，通过改变原子层沉积循环次数，从而沉积所需厚度的氧化物复合层和所需粒径的纳米颗粒，两者结合形成复合...
- 陈蓉蔡佳明曹坤单斌文艳伟
- 文献传递
- 大语言模型时代的材料信息提取和数据驱动研发被引量：4
- 2023年
- 随着数据科学在科学领域的广泛应用,获取数据的重要性越来越高。在材料学领域,相关的论文包含了大量的材料科学知识。然而,这些论文往往呈现出非结构化和高度异构的格式,这为大规模分析其中包含的信息造成了障碍。幸运的是,自然语言处理(NLP)和计算机视觉(CV)等快速发展,特别是像ChatGPT这样的大型预训练语言模型,展现了巨大潜力。综述了文本挖掘在材料学的一般流程和工具,包括利用ChatGPT等大型预训练语言模型进行知识抽取,并介绍了图像和表格信息提取。然后,讨论了数据在材料性能预测、筛选和逆向合成中的应用。最后,结合最新的大型预训练模型,展望了数据驱动材料研究的未来发展方向。
- 单斌李豪杰文艳伟陈蓉
- 一种用于微纳米颗粒表面修饰的装置和方法
- 本发明公开了一种用于微纳米颗粒表面修饰的装置，包括：反应腔，其内部形成的空腔用于作为前驱体与微纳米颗粒的反应空间；多个前驱体供应装置，其分别通过管道与所述反应腔相通以提供不同的前驱体；载气输送系统，前驱体通过该载气输送系...
- 陈蓉段晨龙刘潇曹坤单斌文艳伟
- 文献传递
- 一种循环卷绕式原子层沉积设备
- 本发明公开了一种循环卷绕式原子层沉积设备，包括：沿待沉积样品的闭环运行路径布置的反应装置、动力装置、导向装置、纠偏装置；反应装置包括分布在待沉积样品上下两侧的加热板和反应喷头；动力装置包括伺服电机和驱动辊筒，伺服电机的输...
- 陈蓉但威单斌巴伟明
- 文献传递
- 一种原子层沉积前驱体输出装置
- 本发明公开了一种原子层沉积前驱体输出装置，该输出装置由装载前驱体的钢瓶（101），缓存腔（103），连接所述钢瓶（101）与缓存腔（103）的第一开关阀（102），位于所述缓存腔腔体内且与所述缓存腔腔体气密性良好的运动活...
- 陈蓉邓章曹坤单斌文艳伟
- 一种用于原子层沉积薄膜疲劳定角弯曲测试机
- 本实用新型属于薄膜折弯相关领域，并公开了一种用于原子层沉积薄膜疲劳定角弯曲测试机。该测试机包括底板和设置在该底板上的折弯机构、传动机构和驱动机构，折弯机构包括固定连接在底板上第一托架和第二托架，以及相对设置的第一盖板和第...
- 陈蓉邢泽华单斌曹坤李云刘媛媛杨惠之
- 通孔填充方法及通孔填充装置
- 本发明涉及一种通孔填充方法及通孔填充装置，该通孔填充方法包括以下步骤：在基体上刻蚀通孔，通孔的底壁为第一表面，通孔的侧壁为第二表面；使用ALD工艺将第一前驱体导向所述第一表面和所述第二表面以形成第一填充层；使用CVD工艺...
- 陈蓉李易诚曹坤单斌张净铭严谨齐子廉
