姬小利
- 作品数:36 被引量:29H指数:3
- 供职机构:中国科学院半导体研究所更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家教育部博士点基金更多>>
- 相关领域:电子电信理学电气工程核科学技术更多>>
- 氮化镓基宽光谱发光二极管及其制备方法
- 一种氮化镓基宽光谱发光二极管及其制备方法,其中该氮化镓基宽光谱发光二极管包括:一衬底;一缓冲层,其制作在衬底上;一n型III族氮化物层,其制作在缓冲层上,该n型III族氮化物层上面的一侧有一台面,该台面的厚度小于n型II...
- 姬小利郭金霞马平马骏魏同波伊晓燕王军喜杨富华曾一平王国宏李晋闽
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- 一种增强型氮化物场效应晶体管及其制备方法
- 本发明公开了一种增强型氮化物场效应晶体管及其制备方法,该方法在衬底上依次生长成核层、铟镓氮高阻缓冲层、铝铟镓氮势垒层;在铝铟镓氮势垒层上制备源极和漏极;源漏之间刻蚀有单条或多条沟槽,沟槽的深度大于铝铟镓氮势垒层的厚度,沟...
- 马平姬小利李喜林刘波亭王军喜李晋闽
- 文献传递
- AlGaN/GaN分布布拉格反射镜的设计与表征被引量:5
- 2005年
- 设计了反射中心波长为500nm的A l0.3Ga0.7N/GaN和A lN/GaN两种分布布拉格反射镜(DBR),并采用光学传递矩阵方法对其光谱反射率进行了理论上的模拟。采用金属有机物化学气相淀积(MOCVD)技术在蓝宝石衬底上制备了样品。实际测量的样品反射谱中有明显的反射峰,但峰值波长与理论设计有偏差,峰值反射率也比理论设计值偏低。SEM和AFM测量结果表明:这是由生长层厚与设计的偏差和界面不平整引起的。
- 姬小利江若琏李亮谢自力周建军刘斌韩平张荣郑有炓龚海梅
- 关键词:氮化镓分布布拉格反射镜
- 一种氮化镓系发光器件
- 本发明公开了一种氮化镓系发光器件,包括衬底;成核层;n型III族氮化物层;多量子阱有源区;最后一个量子垒层;类电子阻挡层;p型III族氮化物层;n型金属电极和p型金属电极。其中最后一个量子垒层和类电子阻挡层之间的界面存在...
- 姬小利路红喜郭金霞魏同波伊晓燕王军喜杨富华曾一平王国宏李晋闽
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- AlGaN/GaN分布布拉格反射镜的MOCVD生长被引量:3
- 2005年
- 文中利用MOCVD方法,采用高质量GaN作为缓冲层,在(0001)取向的蓝宝石衬底上实现了不同组分的A lxGa1-xN/GaN分布布拉格反射镜(DBR)的制备。通过XRD、SEM、AFM、反射谱等测量分析手段,研究了A lxGa1-xN/GaN DBR的结构质量、厚度和表面形貌。
- 李亮张荣谢自力张禹修向前姬小利刘成祥毕朝霞陈琳周建军刘斌韩平江若琏顾书林施毅龚海梅郑有炓
- 关键词:ALGANGAN分布布拉格反射镜MOCVD
- 材料结构对AlGaN基分布布拉格反射镜特性的影响
- 本文采用低压MOCVD技术生长了AlGaN/GaN、AlGaN/AlN等多种交替生长结构的半导体多层膜分布布拉格反射镜(DBR)。利用X射线衍射、扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)等测量手段对材料的物理特性...
- 谢自力韩平施毅郑有炓张荣刘斌姬小利李亮修向前江若琏赵红龚海梅
- 关键词:布拉格反射镜薄膜生长汽相沉积
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- 提高发光效率的极性面氮化镓基发光器件
- 一种提高发光效率的极性面氮化镓基发光器件,依次包括衬底、缓冲层、n型Al<Sub>u</Sub>Ga<Sub>1-u</Sub>N接触层、发光有源区、Al<Sub>x</Sub>Ga<Sub>1-x</Sub>N最后一个...
- 姬小利闫建昌郭金霞张连杨富华段瑞飞王军喜曾一平王国宏李晋闽
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- MOCVD制备AlGaN基多波段布拉格反射镜
- 本文研究了利用金属有机物化学汽相淀积系统(MOCVD)制备AlGaN基多波段布拉格反射镜.多个布拉格反射镜的工作波长覆盖从蓝绿光至紫外范围,分别由多周期的双层结构GaN/AlN,Al0.3Ga0.7N/AlN,Al0.5...
- 刘斌郑有炓张荣谢自力姬小利李亮周建军江若琏韩平龚海梅张禹
- 关键词:金属有机物化学气相淀积布拉格反射镜光学结构X射线衍射谱
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- AlGaN/GaN分布布拉格反射镜的MOCVD生长
- 文中利用MOCVD方法,采用高质量GaN作为缓冲层,在(0001)取向的蓝宝石衬底上实现了不同组分的AlxGa1-xN/GaN分布布拉格反射镜(DBR)的制备.通过XRD、SEM、AFM、反射谱等测量分析手段,研究了Al...
- 李亮周建军刘斌韩平江若琏顾书林施毅郑有炓张荣谢自力修向前姬小利刘成祥毕朝霞陈琳龚海梅张禹
- 关键词:ALGANGAN分布布拉格反射镜MOCVD
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- AlGaN/GaN分布布拉格反射镜的设计与表征
- 设计了反射中心波长为500nm的Al0.3Ga0.7N/GaN和AlN/GaN两种分布布拉格反射镜(DBR),并采用光学传递矩阵方法对其光谱反射率进行了理论上的模拟.采用金属有机物化学气相淀积(MOCVD)技术在蓝宝石衬...
- 姬小利江若琏李亮谢自力周建军刘斌韩平张荣郑有炓龚海梅
- 关键词:氮化镓分布布拉格反射镜化学气相淀积
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