陆锋
- 作品数：4 被引量：2H指数：1
- 供职机构：无锡微电子科研中心更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 工艺线特种气体系统设计与施工规程被引量：1
- 2002年
- 本文介绍了工艺线特种工艺气体系统改造设计方面的一些原则,并详细论述了管路的施工规程。
- 陆锋顾爱军
- 关键词：特种气体纯度半导体
- NV10-80大束流注入机离子源电路原理分析及维修经验浅谈被引量：1
- 2002年
- 本文较为详细地分析了EatonNV10 - 80大束流离子注入机离子源电路工作原理 ,包括ARC电压、灯丝电流、气源压力调节及固体源坩埚温度控制的电路工作原理 ,同时 ,又针对常见离子源故障解决作了剖析。由于EatonNV10 - 80大束流离子注入机国内半导体厂家使用较为广泛 ,其它型号的离子注入机也可借鉴 ,本文有较高的实际指导意义。
- 陆锋
- 关键词：离子源电路原理
- 3.0um BiCMOS数模电路工艺开发
- 本文介绍了在无锡微电子科研中心二室工艺线上开发的3.0umBiCMOS数模电路工艺所考虑的主要因素,以及该工艺流程所用的器件结构、PCM参数,介绍了开发的各个阶段情况,以及为开发此工艺在工艺模拟方面所做的工作.
- 肖志强陆锋郑若成
- 关键词：BICMOS集成电路
- 文献传递
- ARC工艺技术研究
- 本文介绍了在半导体制造中应用于金属互联工艺的ARC(抗反射层或防反射层)技术.通过对抗反射层基本原理的说明,结合工艺实验,来详细、深刻地理解抗反射技术.最后给出了可以用于0.5um工艺生产的ARC结构及用于衡量ARC性能...
- 温万良陆锋周林
- 关键词：光刻工艺半导体工艺集成电路
- 文献传递
