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肖志强
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1
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供职机构:
无锡微电子科研中心
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相关领域:
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合作作者
郑若成
无锡微电子科研中心
陆锋
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郑若成
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中国电子学会...
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3.0um BiCMOS数模电路工艺开发
本文介绍了在无锡微电子科研中心二室工艺线上开发的3.0umBiCMOS数模电路工艺所考虑的主要因素,以及该工艺流程所用的器件结构、PCM参数,介绍了开发的各个阶段情况,以及为开发此工艺在工艺模拟方面所做的工作.
肖志强
陆锋
郑若成
关键词:
BICMOS
集成电路
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