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刘维

作品数：1 被引量：4H指数：1
供职机构：北京工业大学材料科学与工程学院新型功能材料教育部重点实验室更多>>
发文基金：北京市自然科学基金国防科技技术预先研究基金更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇微结构
  • 1篇稀释度
  • 1篇离子能量
  • 1篇工作气压
  • 1篇薄膜微结构
  • 1篇PECVD
  • 1篇SIC薄膜

机构

  • 1篇北京工业大学
  • 1篇北京理工大学

作者

  • 1篇严辉
  • 1篇刘维
  • 1篇宋雪梅
  • 1篇廖波
  • 1篇王波
  • 1篇王静静

传媒

  • 1篇功能材料

年份

  • 1篇2004
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
等离子体状态对PECVDSiC薄膜微结构的影响被引量：4
2004年
　在PECVD法制备SiC薄膜过程中,深入研究了工作气压及工作气体中氢稀释比例对薄膜的影响,发现以上两个参数是通过共同调整等离子体状态的两个主要参数———等离子体成分及离子能量来起作用的。在此基础上,讨论了等离子体状态在SiC薄膜微结构从非晶转化为纳米晶过程中的作用,发现可以通过控制等离子体成分及离子能量来得到可用于场发射阴极的纳米晶SiC薄膜。
王静静廖波刘维王波宋雪梅严辉
关键词：工作气压PECVD离子能量微结构SIC薄膜
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共1页<1>
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