倪祖高
- 作品数：7 被引量：17H指数：2
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金北京市自然科学基金中国科学院“百人计划”更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术理学一般工业技术机械工程更多>>
- SiO2的MERIE刻蚀工艺研究
- SiO2具有优良的光学特性及其稳定的化学特性，在PolyMUMPs工艺中被作为牺牲层，为了完成结构层的制作，需对SiO2层进行刻蚀，因此对SiO2的干法刻蚀工艺研究具有重要意义。实验中使用的SiO2薄膜采用射频磁控溅射法...
- 颜胜美姚军庄须叶倪祖高周崇喜
- 纳米柱阵列传感器的结构优化设计
- 当金属纳米粒子受到光波激发时，会在某一频率处出现集体振荡的现象，即局域表面等离子体共振(LSPR)，表现出明显的消光特性，基于这种独特的光学特性，使得在生物传感和化学传感等方面具有重要的应用前景。纳米粒子阵列由于粒子间的...
- 倪祖高姚军周崇喜马文英陈科帆
- 一种基于静电排斥力的大冲程MEMS变形镜设计与测试
- 本文给出了一种基于静电排斥力的大冲程MEMS变形镜的结构设计和制造方案，通过对器件的测试对比了三种不同电极空间分布方式的变形镜的静态位移量.近年来，自适应光学中的MEMS变形镜广泛应用于天文学以及生物成像等技术.MEMS...
- 陈科帆姚军高福华汪为民倪祖高
- 光纤消逝场传感器传感结构的分析与应用被引量：4
- 2011年
- 对光纤消逝场理论进行了详细分析,阐述了影响光纤消逝场传感器灵敏度的一些关键因素,并对几种常见的光纤消逝场传感光纤的优缺点进行了比较,主要包括圆柱形、D形、U形、锥形以及光子晶体光纤等结构的传感光纤。通过分析各种传感结构的光纤消逝场传感器的应用实例,归纳总结了提高光纤消逝场传感器传感灵敏度的一般方法,包括在传感光纤表面镀薄敏感膜或者金属膜、优化传感光纤结构、进行荧光标记以及用纳米粒子修饰等一系列措施。
- 罗吉庄须叶倪祖高姚军
- 关键词：光纤光纤传感器灵敏度
- 金属纳米结构的形状对其消光特性的影响研究被引量：9
- 2010年
- 推导了任意形状金属纳米结构的局域表面等离子体共振波长的解析解,分析了金属纳米结构的形状对其消光特性的影响。计算与分析结果表明,在空气中(折射率n=1.0),某种金属的纳米结构的消光光谱谐振波长仅与形状有关,形状参数L可以拟合为宽高比的二次函数,且二次项的系数代表了金属纳米结构的尖锐程度,形状越尖锐,谐振波长便越长。共振波长的研究对根据需要合理设计金属纳米结构具有重要的指导意义。
- 马文英杨欢刘娟意倪祖高唐东升姚军
- 关键词：谐振波长形状参数宽高比
- 纳米柱阵列传感器的结构优化设计被引量：2
- 2010年
- 采用时域有限差分法(FDTD)对Ag纳米柱粒子构成的三角、方形和六角三种有限阵列排布方式下的局部表面等离子体共振(LSPR)传感特性进行了研究,讨论了三种阵列排布方式下栅格间距的变化对其消光特性、折射率灵敏度(RIS)和品质因素(FOM)的影响。栅格间距的变化使粒子间的电磁耦合发生了变化,进而改变了消光谱线,相应的折射率灵敏度和谱线的半高全宽也都发生变化。仿真结果表明,三角、方形和六角阵列的栅格间距分别为550,475和550nm时,品质因数分别取得极大值10.35,8.92和7.38RIU-1,较单个银粒子的2.76RIU-1分别提高了3.75,3.2和2.67倍。最优时,阵列结构的RIS均比单个的要高,分别为单个的1.2,1.16和1.18倍,且半高全宽(FWHM)均比单个的要窄,分别为单个的0.32,0.36和0.44倍。因此,阵列结构能够获得比单个结构更佳的传感灵敏度,且三角阵列结构比方形阵列和六角阵列的传感灵敏度要高。因此,三角阵列结构更能提高传感灵敏度,这对于纳米粒子的传感特性研究具有一定的指导意义。
- 倪祖高马文英姚军陈科帆
- 关键词：品质因素
- 基于静电排斥力的大冲程MEMS变形镜被引量：2
- 2011年
- 设计并制造了一种基于静电排斥力的大冲程MEMS变形镜,此变形镜采用了三个多晶硅结构层和一个金属反射层的设计。利用表面硅工艺完成了变形镜的加工,结合有限元分析软件和白光干涉仪对三种不同驱动器电极空间分布方式的静电排斥型变形镜进行了分析和研究。测试结果表明,静电排斥型变形镜在200V下能实现1.7μm以上的位移,冲程较传统静电吸引型变形镜有显著提高。在相同电压下,第三层多晶硅作为边缘电极时的变形镜获得的位移最大,在210V下达到2.42μm。
- 陈科帆姚军高福华汪为民倪祖高
- 关键词：变形镜自适应光学冲程
