姚军
- 作品数：85 被引量：235H指数：8
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点实验室开放基金北京市自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程理学更多>>
- 一种静电排斥力驱动的MEMS变形镜的制作方法
- 本发明公开了一种静电排斥力驱动的MEMS变形镜的制作方法，主要包括在硅基底上进行多层薄膜沉积、干法和湿法刻蚀等工艺，其特征在于：引入两层氮化硅薄膜和底面刻蚀工艺。本发明的静电排斥力驱动的MEMS变形镜的制作工艺，不仅能够...
- 邱传凯胡放荣姚军
- 文献传递
- MEMS交叉梳齿光栅设计和优化
- 2011年
- 采用MEMS技术设计和制造了一种由梳齿驱动器驱动的新型交叉梳齿光栅,同时优化了该光栅的驱动器结构,着重分析了优化驱动器结构对光栅机械特性和光学传感特性的影响,优化后的光栅相对于未优化时具有更大的位移、更好的光学传感特性。基于PolyMUMPs工艺制作了梳齿驱动器驱动交叉梳齿光栅,并逐步分析了该光栅的加工步骤。结合有限元分析软件,对该MEMS光栅的机械特性进行了分析。分析结果表明,在85V下,该光栅驱动器的位移为2.7μm,而实际测量的位移为2.1μm。通过对该光栅驱动器结构进行优化,得到在同等电压下优化后的光栅驱动器位移较未优化时有显著提高,在85V时,优化后的MEMS光栅驱动器的位移为4.3μm。根据傅里叶光学理论计算得到,该光栅的传感灵敏度与驱动器位移成正比,经过计算得到优化后MEMS光栅的光学传感曲线更加陡峭,具有更好的传感特性。
- 张恒姚军庄须叶陶逢刚汪为民
- 压强、温度和组分浓度同时检测的多态气液光纤传感器
- 本发明是一种压强、温度和组分浓度同时检测的多态气液光纤传感器，其由宽波段光源、光谱分析仪器、回光导光光纤、第一导光光纤，光纤耦合器、第二导光光纤和传感光纤探头组成，在传感光纤探头上加工有对被测液体、气体温度进行检测的温度...
- 庄须叶姚军罗吉颜胜美
- 文献传递
- 亮暗衬线法校正邻近效应及其实验研究被引量：1
- 2000年
- 光学光刻中的邻近效应校正是实现亚微米光刻的必要手段。作者基于波前加工的思想 ,提出亚分辨亮暗衬线结合辅助线条实现邻近效应校正的方法 ,分析了其校正机理 ,采用这种新方法 ,在可加工 0 .7μm光刻图形的I线投影曝光装置上加工出了 0 .5μm的光刻图形 ,取得了较好的实验结果 ,并与其它邻近效应的校正方法进行了比较。
- 杜惊雷粟敬钦姚军张怡霄高福华杨丽娟崔铮
- 关键词：光学邻近校正
- 一种反射棱锥波前传感器
- 一种反射棱锥波前传感器，四个反射镜与反射棱锥配合对入射光分束反射、2×2微透镜阵列对反射子光束中继成像，在光电探测器的四个象限上形成四个子光瞳像，通过四个子光瞳像的光强分布差异计算出波前斜率信息，进而重构波前畸变相位分布...
- 蔡冬梅杨欢姚军
- 文献传递
- 一种静电驱动的F－P腔MEMS波长可调滤波器
- 本发明公开了一种静电驱动的F－P腔MEMS波长可调滤波器，包含一个F－P腔，其特征在于：在F－P腔的四周连有4个静电驱动器，4个静电驱动器的上极板分别通过4根连接杆与F－P腔的前腔面相连，4个静电驱动器的下极板与F－P腔...
- 姚军王大甲胡放荣邱传凯
- 文献传递
- 双液晶自适应闭环系统
- 一种双液晶自适应光学闭环系统，其特征在于：自然光经过第一90°分束偏光镜，分成相互垂直的两束偏振光，一束为透射偏振光P，直接被第一液晶波前校正器校正，校正后的P偏振光被第一1/2波片调制为S偏振光；另一束反射偏振光S，首...
- 蔡冬梅姜文汉姚军黄立新
- 文献传递
- 一种基于杠杆放大原理的静电驱动MEMS变形镜
- 本发明公开了一种基于杠杆放大原理的MEMS变形镜，包含至少两个杠杆放大静电驱动器，至少两个连接梁，一个支撑结构和一个镜面；杠杆放大静电驱动器通过连接梁与支撑结构连接，支撑结构通过连接体与镜面相连；所述的杠杆放大静电驱动器...
- 姚军任豪王大甲
- 文献传递
- 一种静电排斥力驱动的MEMS变形镜的制作方法
- 本发明公开了一种静电排斥力驱动的MEMS变形镜的制作方法，主要包括在硅基底上进行多层薄膜沉积、干法和湿法刻蚀等工艺，其特征在于：引入两层氮化硅薄膜和底面刻蚀工艺。本发明的静电排斥力驱动的MEMS变形镜的制作工艺，不仅能够...
- 邱传凯胡放荣姚军
- 文献传递
- 基于旋转相位调制的复杂光场相位恢复算法被引量：3
- 2010年
- 提出了一种基于旋转相位调制手段恢复复杂光场相位的方法,通过数值模拟验证其有效性和可行性。采用结构简单的相位板横向旋转到一个或更多新的位置来产生多个夫琅禾费衍射图样,通过修正的混合输入输出算法(HIO)对光场进行复原。模拟实验表明,该算法能在二维情况下快速准确地恢复复杂光场,并且大幅度地提高了复杂光场的恢复精度。多次选取随机初始迭代值,没有出现迭代停滞现象和收敛结果不确定的问题,且具有良好的抗噪性能。
- 黄利新姚军高福华陈剑鸣宫爱玲
- 关键词：光计算相位恢复相位调制
