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郭林
作品数:
2
被引量:1
H指数:1
供职机构:
四川固体电路研究所
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发文基金:
国防科技技术预先研究基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
郝跃
西安电子科技大学微电子学院微电...
朱建纲
西安电子科技大学微电子学院微电...
张正幡
四川固体电路研究所
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张正幡
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郭林
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郝跃
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物理学报
年份
2篇
2001
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SOINMOSFET沟道热载流子的应力损伤
被引量:1
2001年
研究了沟道热载流子应力所引起的 SOI NMOSFET的损伤 .发现在中栅压应力 (Vg≈ Vd/ 2 )和高栅压应力(Vg≈ Vd)条件下 ,器件损伤表现出单一的幂律规律 ;而在低栅压应力 (Vgs≈ Vth)下 ,多特性的退化规律便会表现出来 .同时 ,应力漏电压的升高、应力时间的延续都会导致退化特性的改变 .这使预测 SOI器件的寿命变得非常困难 .
郝跃
朱建纲
郭林
张正幡
关键词:
SOI
热载流子
阈值电压
NMOSFET
场效应晶体管
SOI MOSFET转移特性中的深度饱和现象研究
2001年
研究了SIMOXSOI器件的电学特性 .发现在众多的MOSFET中 ,输出特性曲线的低漏压端都出现了“鸟嘴”形畸变 ,表现在转移特性曲线上便是高栅压区域中漏电流的深度饱和 .在经历沟道热载流子应力之后 ,这类器件的电学参数退化不同于一般器件的损伤特性 .研究发现NMOSFET在应力之后其漏电流的深度饱和得到恢复 ;而对于PMOS ,应力之后输出特性中的“鸟嘴”形畸变并没有消弱的迹象 .这些性质对于SOI器件可靠性设计和可靠性加固均是重要的 .
郝跃
朱建纲
郭林
张正幡
关键词:
热载流子
SOI器件
MOSFET
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