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郑丹

作品数：2 被引量：4H指数：2
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文基金：中国科学院“百人计划”国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇自动化与计算...

主题

  • 2篇微机械
  • 2篇感器
  • 2篇传感
  • 2篇传感器
  • 1篇压力传感器
  • 1篇盆腔
  • 1篇微机械传感器
  • 1篇微机械技术
  • 1篇微压
  • 1篇微压传感器
  • 1篇力传感器
  • 1篇灵敏度
  • 1篇敏度
  • 1篇化学技术
  • 1篇传感器发展
  • 1篇传感器技术

机构

  • 2篇中国科学院上...

作者

  • 2篇郑丹
  • 1篇张鲲
  • 1篇李昕欣
  • 1篇宋朝辉

传媒

  • 1篇半导体技术
  • 1篇仪表技术与传...

年份

  • 1篇2002
  • 1篇2001
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
化学技术在微机械传感器发展中的应用被引量：2
2001年
微机械传感器除运用硅基微电子制造技术外，大量应用化学腐蚀、特种高分子薄膜材料、电镀和电化学工艺等化学领域的新技术，形成了很多独特的微机械加工技术。这些技术的运用解决了很多关键性技术问题，极大地推进了微机械传感器技术的发展。本文从体微机械加工、表面微机械加工和ＬＩＧＡ技术三方面论述化学技术在近来新型传感器发展中的技术突破和成果。
郑丹李昕欣
关键词：化学技术微机械技术传感器技术
提高微压传感器灵敏度的深盆腔压力膜片研究(一)被引量：2
2002年
表面微机械微小量程压力传感器采用多晶硅薄膜等有内应力的敏感膜片时 ,应力往往会使膜片的力学灵敏度大大下降 ,无法满足微量程测量的要求。波纹膜片可以消除或减小应力来提高灵敏度 ,但是其波纹结构本身又会造成力学灵敏度下降 ,从而部分抵消了应力消除的效果。提出一种新型深盆腔膜片结构 ,在消除应力的同时实现了比平膜片还高的力学灵敏度 ,可以提高微压传感器和微麦克风的灵敏度。采用解析和有限元两种方法相结合的方法 ,对该种膜片进行了分析和研究。对比平膜和波纹膜结构 。
郑丹宋朝辉张鲲
关键词：微机械传感器压力传感器
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