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李昕欣

作品数：3 被引量：2H指数：1
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文基金：中国科学院“百人计划”更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 3篇感器
  • 3篇传感
  • 3篇传感器
  • 2篇速度传感器
  • 2篇微加速度传感...
  • 2篇离子刻蚀
  • 2篇量程
  • 2篇刻蚀
  • 2篇加速度
  • 2篇加速度传感器
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  • 2篇反应离子刻蚀
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  • 1篇微机械
  • 1篇微机械技术
  • 1篇化学技术
  • 1篇传感器发展
  • 1篇传感器技术

机构

  • 3篇中国科学院上...

作者

  • 3篇李昕欣
  • 2篇董健
  • 2篇王跃林
  • 1篇郑丹

传媒

  • 1篇半导体技术

年份

  • 1篇2004
  • 1篇2002
  • 1篇2001
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
化学技术在微机械传感器发展中的应用被引量：2
2001年
微机械传感器除运用硅基微电子制造技术外，大量应用化学腐蚀、特种高分子薄膜材料、电镀和电化学工艺等化学领域的新技术，形成了很多独特的微机械加工技术。这些技术的运用解决了很多关键性技术问题，极大地推进了微机械传感器技术的发展。本文从体微机械加工、表面微机械加工和ＬＩＧＡ技术三方面论述化学技术在近来新型传感器发展中的技术突破和成果。
郑丹李昕欣
关键词：化学技术微机械技术传感器技术
曲面贴合过载保护的硅微加速度传感器及制造方法
本发明涉及一种曲面贴合过载保护的硅微加速度传感器及制造方法,属于硅微机械传感器技术领域。其结构特征在于悬臂梁的过载保护是采用位于悬臂梁两侧的二个曲面,该曲面是按悬臂梁的挠曲函数设计的,整个硅微加速度传感器为单片硅的整体式...
李昕欣董健王跃林
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曲面贴合过载保护的硅微加速度传感器及制造方法
本发明涉及一种曲面贴合过载保护的硅微加速度传感器及制造方法，属于硅微机械传感器技术领域。其结构特征在于悬臂梁的过载保护是采用位于悬臂梁两侧的二个曲面，该曲面是按悬臂梁的挠曲函数设计的，整个硅微加速度传感器为单片硅的整体式...
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