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张鲲

作品数：2 被引量：2H指数：1
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文基金：国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇自动化与计算...

主题

  • 2篇盆腔
  • 2篇微压
  • 2篇微压传感器
  • 2篇灵敏度
  • 2篇敏度
  • 2篇感器
  • 2篇传感
  • 2篇传感器
  • 1篇压力传感器
  • 1篇有限元
  • 1篇微机械
  • 1篇微机械传感器
  • 1篇力传感器

机构

  • 2篇中国科学院上...

作者

  • 2篇张鲲
  • 2篇宋朝辉
  • 1篇郑丹
  • 1篇郑丹

传媒

  • 2篇仪表技术与传...

年份

  • 2篇2002
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
提高微压传感器灵敏度的深盆腔压力膜片研究(一)被引量：2
2002年
表面微机械微小量程压力传感器采用多晶硅薄膜等有内应力的敏感膜片时 ,应力往往会使膜片的力学灵敏度大大下降 ,无法满足微量程测量的要求。波纹膜片可以消除或减小应力来提高灵敏度 ,但是其波纹结构本身又会造成力学灵敏度下降 ,从而部分抵消了应力消除的效果。提出一种新型深盆腔膜片结构 ,在消除应力的同时实现了比平膜片还高的力学灵敏度 ,可以提高微压传感器和微麦克风的灵敏度。采用解析和有限元两种方法相结合的方法 ,对该种膜片进行了分析和研究。对比平膜和波纹膜结构 。
郑丹宋朝辉张鲲
关键词：微机械传感器压力传感器
提高微压传感器灵敏度的深盆腔压力膜片研究(二)
2002年
郑丹宋朝辉张鲲
关键词：微压传感器灵敏度有限元
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共1页<1>
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