您的位置： 专家智库 > >

周瑞

作品数：4 被引量：1H指数：1
供职机构：江西农业大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 2篇抛光
  • 2篇抛光表面
  • 2篇抛光机
  • 2篇抛光加工
  • 1篇单晶
  • 1篇单晶硅
  • 1篇单晶硅片
  • 1篇电主轴
  • 1篇研磨
  • 1篇硬脆性材料
  • 1篇声波发生器
  • 1篇抛光硅片
  • 1篇球轴承
  • 1篇轴承
  • 1篇主轴
  • 1篇磨粒
  • 1篇机身
  • 1篇硅片
  • 1篇半导体
  • 1篇半导体材料

机构

  • 4篇江西农业大学

作者

  • 4篇周瑞
  • 3篇杨卫平
  • 2篇刘曼利
  • 2篇夏清华
  • 1篇郭俊
  • 1篇曹吉星
  • 1篇侯军峰

年份

  • 3篇2015
  • 1篇2013
共 4 条 记 录，以下是 1-4
全选 清除 导出
排序方式：
超声椭圆振动辅助抛光硅片表面形貌与材料去除仿真
集成电路（Integrate Circuit）作为电子产品的主要部件，其主要基底材料—单晶硅片的加工质量，在一定程度上影响着电子产品的性能。目前，由于电子产品性能越来越好，对IC的集成度也提出了更高的要求，要求硅片的刻蚀...
周瑞
关键词：半导体材料单晶硅片超声振动
多轨迹多功能磁力研磨机
一种多轨迹多功能磁力研磨机，多轨迹多功能磁性研磨机，包括机身、X轴步进电机、Y轴步进电机、Z轴步进电机、研磨平台、基础平台，机身上设有X、Y、Z轴运动机构，Y轴运动机构和Z轴运动机构设在机身上端，X轴运动机构设在机身底座...
杨卫平侯军峰周瑞曹吉星郭俊
文献传递
变轨迹-超声椭圆振动辅助固结磨粒抛光机
本实用新型涉及一种变轨迹-超声椭圆振动辅助固结磨粒抛光机，其包括：动力部分、抛光部分、传动部分和超声波发生器部分。动力部分驱动传动部分和抛光部分的运动，抛光部分包括抛光工作台、旋转抛光工具，所述动力部分包括X轴、Y轴、Z...
杨卫平夏清华周瑞刘曼利
文献传递
变轨迹—超声椭圆振动辅助固结磨粒抛光机
本发明涉及一种变轨迹-超声椭圆振动辅助固结磨粒抛光机，其包括：动力部分、抛光部分、传动部分和超声波发生器部分。动力部分驱动传动部分和抛光部分的运动，抛光部分包括抛光工作台、旋转抛光工具，所述动力部分包括X轴、Y轴、Z轴方...
杨卫平夏清华周瑞刘曼利
文献传递
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0