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侯军峰

作品数：3 被引量：4H指数：1
供职机构：江西农业大学工学院更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家留学基金江西省研究生创新基金更多>>
相关领域：机械工程金属学及工艺电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文
  • 1篇专利

领域

  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇机械工程
  • 1篇电子电信

主题

  • 3篇研磨
  • 2篇硅片
  • 1篇电主轴
  • 1篇球轴承
  • 1篇轴承
  • 1篇主轴
  • 1篇机身
  • 1篇机械研磨
  • 1篇固结
  • 1篇超声
  • 1篇齿轮
  • 1篇磁力

机构

  • 3篇江西农业大学

作者

  • 3篇侯军峰
  • 2篇杨卫平
  • 1篇周瑞
  • 1篇郭俊
  • 1篇曹吉星
  • 1篇刘曼利

传媒

  • 1篇组合机床与自...

年份

  • 1篇2016
  • 1篇2014
  • 1篇2013
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
多轨迹多功能磁力研磨机
一种多轨迹多功能磁力研磨机，多轨迹多功能磁性研磨机，包括机身、X轴步进电机、Y轴步进电机、Z轴步进电机、研磨平台、基础平台，机身上设有X、Y、Z轴运动机构，Y轴运动机构和Z轴运动机构设在机身上端，X轴运动机构设在机身底座...
杨卫平侯军峰周瑞曹吉星郭俊
文献传递
超声椭圆振动复合化学机械研磨硅片运动轨迹仿真研究被引量：3
2016年
为了实现高效率、高质量地加工硅片,提出一种超声椭圆振动辅助固结磨粒化学机械复合研磨硅片的新方法。首先简要介绍该方法所用装置及其工作原理,通过对研磨硅片的运动分析,建立其运动轨迹坐标系的数学模型并进行计算,然后借助MATLAB软件对研磨轨迹形状及其密度分布进行了仿真研究,其方法和结论可有效的为今后实验研究提供可供参考的理论依据。
刘曼利侯军峰杨卫平
关键词：研磨硅片
超声振动辅助固结磨粒研磨硅片轨迹仿真与基础实验研究
随着科技的发展，电子设备在人们生活中已经十分普及，成为了日常生活中的必需品和消耗品。单晶硅以其优良的性能、低廉的价格和易制备等特点，一直以来是最为广泛的电子芯片基底材料。硅片的表面质量直接影响着芯片及后续产品的性能，随着...
侯军峰
关键词：硅片
文献传递
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