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战长青

作品数：5 被引量：24H指数：2
供职机构：清华大学信息科学技术学院微电子学研究所更多>>
发文基金：国家攀登计划更多>>
相关领域：机械工程自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 5篇中文期刊文章

领域

  • 3篇机械工程
  • 2篇自动化与计算...
  • 1篇电子电信

主题

  • 3篇微机械
  • 3篇感器
  • 3篇传感
  • 3篇传感器
  • 2篇微流量
  • 2篇微流量传感器
  • 2篇流量传感器
  • 2篇铝硅
  • 1篇压力传感器
  • 1篇掩膜
  • 1篇执行器
  • 1篇双金属
  • 1篇氢氧化
  • 1篇氢氧化钾
  • 1篇微电子
  • 1篇微电子机械
  • 1篇微电子机械系...
  • 1篇微机械系统
  • 1篇微压
  • 1篇微压力传感器

机构

  • 5篇清华大学
  • 1篇香港科技大学

作者

  • 5篇战长青
  • 5篇刘理天
  • 4篇庞江涛
  • 2篇李志坚
  • 2篇谭智敏
  • 2篇钱佩信
  • 1篇罗台秦

传媒

  • 2篇仪表技术与传...
  • 2篇功能材料与器...
  • 1篇Journa...

年份

  • 4篇1998
  • 1篇1997
共 5 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
适合硅微机械系统(MEMS)的集成驱动结构──铝硅双金属膜片被引量：7
1997年
双金属效应是一种基本的物理效应，这一效应在硅微机械装置上的应用，有力地弥补了硅材料不具备压电效应，电信号难以直接转换为机械驱动力的缺陷。本文将介绍我们研制的铝硅双金属膜片．膜片尺寸为4mm×4mm×（20μm单晶硅＋10μm金属铝）．实验和分析结果表明，铝硅双金属膜片具有优越的力学特性，能提供足够大的动力和位移。这种集成的单片驱动结构不仅在材料及工艺上与IC工艺完全兼容，而且通过调整有关结构参数及工艺参数，可使该结构在5伏电压下稳定工作，为实现硅微机械系统（MEMS）奠定了基础．这种驱动方式是目前制造微阀门、微流量泵等需要大动力、大位移的硅微机械及其系统的理想驱动结构．
战长青罗台秦刘理天钱佩信
关键词：硅微机械系统MEMS
具有微流量检测功能的集成微流量泵驱动结构被引量：13
1998年
根据我们研制成功的铝硅双金属驱动微流量泵驱动结构的特点，本文介绍了一种实现微流量泵驱动结构与微流量传感器系统集成的方法。该方法在原微流量泵双金属驱动结构的单晶硅膜上集成制作了微流量传感器。这种一体化的集成驱动结构单元同时具有驱动功能和流量检测功能，并且制作工艺简单，为进一步实现与控制电路集成的集成微流量泵系统奠定了基础。
庞江涛战长青刘理天
关键词：微流量传感器
氢氧化钾各向异性腐蚀制作近似圆形单晶硅膜的掩膜补偿技术被引量：2
1998年
本文介绍我们通过掩膜图形的设计，在（１００）单晶硅上利用氢氧化钾各向异性腐蚀制作错综复杂的正八边形单晶硅膜的方法。据此技术可获得最小外接圆半径仅为腐蚀深度的２．６７倍的小尺寸正八边形单晶硅膜，其力学性能大大优于同样面积的等厚方形单晶硅膜，满足微动力机械的要求。
战长青庞江涛刘理天钱佩信
关键词：各向异性腐蚀微压力传感器
铝硅双金属驱动膜片形变方向控制及其结构参数的优化被引量：2
1998年
对三种典型的铝硅双金属驱动膜片结构进行了有限元分析。结果表明，铝硅双金属驱动膜片的结构参数与驱动膜片的弯曲变形方向、中心最大挠度和有效形变体积具有紧密的联系。通过不同的结构设计可以控制驱动膜片结构的弯曲变形方向。另外，通过结构参数优化，可使驱动膜片的中心最大挠度和有效形变体积达到最大值，驱动膜片的性能得到显著提高。
庞江涛战长青谭智敏钱欣刘理天李志坚
关键词：微电子机械系统微机械微执行器
微流量泵与微流量传感器的系统集成被引量：1
1998年
介绍了一种实现微流量泵与微流量传感器系统集成的方法。该方法利用双金属驱动微流量泵驱动结构的特点，在微泵双金属驱动单晶硅膜上集成制作微流量传感器，使驱动单元既有驱动功能又有流量检测功能，为进一步实现微流量控制系统奠定了基础。
庞江涛战长青谭智敏钱欣刘理天李志坚
关键词：微流量传感器系统集成微机械
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