李志坚
- 作品数：244 被引量：485H指数：10
- 供职机构：清华大学信息科学技术学院微电子学研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划“九五”国家科技攻关计划更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术电气工程机械工程更多>>
- GMR生物传感器研究进展
- 巨磁电阻(GMR)生物传感器以其IC兼容性、高灵敏度、标记稳定、价格低廉等优点,获得广泛关注。在GMR生物传感器研究领城,美国处于领先地位。对该领域的研究现状进行综述,并对该技术的前景进行展望。
- 任天令曲炳郡刘理天李志坚
- 关键词：生物传感器
- 文献传递
- 一种低驱动电压的SP4T RF MEMS开关被引量：6
- 2008年
- 设计并制备了一种低电压的静电驱动接触式单刀四掷(SP4T)RFMEMS开关。单元开关采用以低应力氮氧化硅(SiON)作为桥膜的双端固定桥式结构,并利用附着的金层形成接触结构。整个SP4T开关包括与50Ω特征阻抗相匹配的共面波导,1个输入端,4个输出端,4个静电驱动的侧拉桥,以及4个驱动引出区(pad)。测试数据表明,开关驱动电压18.8V;插入损耗S21<0.26dB@DC-3GHz,S31<0.46dB@DC-3GHz;隔离度S21>69.5dB@DC-3GHz,S31>69.2dB@DC-3GHz。结果显示,此开关的隔离度在所有输出端有很好的一致性,插损在DC-3GHz的频段内均较小,非常适合低频使用。
- 胡光伟刘泽文侯智昊李志坚
- 关键词：MEMS开关
- 多目标集成电路工艺优化设计系统GOALSERVER
- 介绍了一个集成电路工艺优化设计系统ＧＯＡＬＳＥＲＶＥＲ。该系统是多目标优化数学方法与解析式工艺／器件一体化模拟的结合，它可根据对各器件特性的具体要求迅速、自动地选择工艺制造控制参数使得各项器件特性同时达到最优。设计了一种...
- 吾立峰杨之廉李志坚
- 关键词：集成电路工艺最优设计计算机辅助设计
- 光刻胶灰化工艺与深亚微米线条的制作被引量：8
- 1998年
- 随着器件尺寸的缩小，细线条的制作成为很关键的工艺，普通光学光刻已接近其分辨率的极限，而电子束光刻和Ｘ射线光刻技术复杂、费用昂贵。本文对光刻胶灰化工艺进行了分析和研究，并应用此工艺进行了深亚微米线条的制作，在普通光学光刻机上制作出宽度小于０．２５μｍ细线条。我们已将此工艺成功地应用在深亚微米ＭＯＳＦＥＴ的制作中。
- 孙自敏刘理天李志坚
- 关键词：光刻MOSFET
- 一种用于电子元器件的硅基铁电夹心结构
- 本实用新型涉及一种用于电子元器件的硅基铁电夹心结构,包括顶层Pt/Ti电极、PZT铁电薄膜、底层Pt/Ti电极、二氧化硅层、硅衬底,上述各层依次排列,还包括PT层,所述的PT层分别置于顶层Pt/Ti电极与PZT铁电薄膜之...
- 任天令张林涛刘理天李志坚
- 文献传递
- 一种新型集成式电容微传声器的分析与设计
- 本文提出了一种使用MEMS技术制作的新型纹膜结构电容式微传声器,并对结构进行了设计和分析.模拟和分析的结果表明,纹膜结构可以大大消除薄膜初始应力对膜机械灵敏度的不良影响,增加膜的灵敏度.同时,微传声器的背极板由单晶硅衬底...
- 陈兢刘理天李志坚
- 关键词：电容式微传声器
- 文献传递
- 微电子技术的又一次革命──微电子机械系统(MEMS)发展展望被引量：15
- 1997年
- 李志坚
- 关键词：微电子机械系统微机械加工
- 基于微电子机械系统技术的高灵敏度电容式微传声器的研制被引量：5
- 2001年
- 基于微电子机械系统（ＭＥＭＳ）技术的微传声器是当前国际上研究的热点。使用 ＭＥＭＳＩ艺制备的薄膜一般有着不可忽视的残余应力，极大的降低了膜的机械灵敏度。理论分析和数值模拟表明，纹膜结构可在不改变工艺条件的前提下，显著的降低残余应力的不良影响，大幅度增加膜的灵敏度。本文提出了一种使用ＭＥＭＳ技术制作的纹膜结构电容式微传声器，其制作工艺简单、重复性好，所用材料也能与 ＩＣＩ艺很好的兼容。圆片级测试的结果表明，在 １０ Ｖ的偏置电压下，这种微传声器在 ７ ｋＨｚ以下具有平直的频响，开路灵敏度可达 ４０ ｍv／Ｐａ，而其占用的芯片面积仅为 １．５ ×ｌ．５ ｍｍ２。进一步的研究可望将信号处理电路集成于片内，形成完整的微声学系统。
- 陈兢刘理天李志坚谭智敏
- 关键词：微电子机械系统微传声器电容式高灵敏度
- 4nH硅微机械电感研究
- 在分析影响电感性能的各因素之后,对微波系统中常用的4nH电感进行了具体的计算和模拟,给出了在2GHz工作频率下的优化结构,并提出了该微机械平面螺旋电感的工艺设计。设计结构保证电感在该工作频率下有较高的Q值,工艺流程与硅C...
- 丁勇刘泽文刘理天李志坚
- 关键词：微机械电感Q值硅
- 文献传递
- 用于微麦克风和扬声器的悬臂式振膜结构及其制备方法
- 本发明涉及用于微麦克风和扬声器的悬臂式振膜结构及其制备方法,首先在单晶硅衬底淀积一层氮化硅,硅衬底背面腐蚀,形成背腔,在氮化硅上淀积一层二氧化硅,射频磁控溅射金属Pt/Ti层,再光刻金属Pt/Ti层,以形成底层电极;用溶...
- 任天令张林涛李志坚刘理天
- 文献传递
