张林涛
- 作品数：30 被引量：42H指数：4
- 供职机构：清华大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信一般工业技术电气工程自动化与计算机技术更多>>
- 一种用于电子元器件的硅基铁电夹心结构及其制备方法
- 本发明涉及一种用于电子元器件的硅基铁电夹心结构的制备方法，首先制备PZT和PT先驱溶胶备用，在单晶硅衬底上生长二氧化硅，再在溅射一层金属Pt/Ti层作底层电极，在其上旋涂一层PT溶胶，再旋涂一层PZT溶胶，最后在铁电薄膜...
- 任天令张林涛刘理天李志坚
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- 用于微麦克风和扬声器的悬臂式振膜结构
- 本实用新型涉及用于微麦克风和扬声器的悬臂式振膜结构,该结构依次由:硅衬底、氮化硅层、低温淀积的二氧化硅层、底层Pt/Ti电极、PZT铁电薄膜、顶层Pt/Ti电极相互排列而成,所述的氮化硅层、低温淀积的二氧化硅层、底层Pt...
- 任天令张林涛李志坚刘理天
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- 用于微麦克风和扬声器的悬臂式振膜结构及其制备方法
- 本发明涉及用于微麦克风和扬声器的悬臂式振膜结构及其制备方法，首先在单晶硅衬底淀积一层氮化硅，硅衬底背面腐蚀，形成背腔，在氮化硅上淀积一层二氧化硅，射频磁控溅射金属Pt/Ti层，再光刻金属Pt/Ti层，以形成底层电极；用溶...
- 任天令张林涛李志坚刘理天
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- 基于夹固振膜结构的微声学器件
- 基于夹固振膜结构的微声学器件，涉及一种微声学器件的结构设计。该器件由硅衬底和设置在其上的复合膜构成，所述的复合膜由底层向上依次为硅层、热氧层、氮化硅层、低温淀积的二氧化硅层、金属钛粘附层、金属铂下电极层、锆钛酸铅铁电薄膜...
- 任天令刘理天杨轶张林涛
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- 硅基PT/PZT/PT夹心结构的性能研究被引量：3
- 2000年
- 在已有的以无机锆盐为原料 ,用 Sol- Gel方法制备硅基 Pb(Zr0 .5 3 Ti0 .47) O3 (PZT)铁电薄膜的工艺基础上 ,成功地制备出 Pb Ti O3 / Pb(Zr0 .5 3 Ti0 .47O3 / Pb Ti O3 (PT/ PZT/ PT)夹心式新结构。由于采用了这种夹心式结构 ,使得 PZT铁电薄膜的退火温度由原来的 90 0℃降到了 70 0℃。通过实验检验了新结构的铁电和介电性能。发现夹心结构有助于提高 PZT薄膜的品质。
- 任天令张林涛刘理天李志坚
- 关键词：PZTPT硅基半导体
- 硅基PZT铁电薄膜的制备与性能研究被引量：10
- 2001年
- 用溶胶－凝胶（Ｓｏｌ－Ｇｅｌ）方法制备了硅基Ｐｂ（Ｚｒ＿０．５３Ｔｉ＿０．４７）０＿３（ＰＺＴ铁电薄膜。分析了ＰＺＴ铁电薄膜的表面形貌、晶化程度、界面状态等性质。基于上述分析结果提出并实现了低温退火处理制备有ＰＴ过渡层的ＰＺＴ铁电薄膜的工艺流程。测试了低温制备的ＰＺＴ铁电薄膜的Ｃ－Ｖ、漏电等电性能，发现在Ｓｏｌ－Ｇｅｌ法制备ＰＺＴ铁电薄膜的工艺中加入ＰＴ过渡层，有助于提高ＰＺＴ薄膜的品质。
- 张林涛任天令张武全刘理天李志坚
- 关键词：SOL-GEL法PZTPT铁电薄膜
- 一种用于电子元器件的硅基铁电夹心结构
- 本实用新型涉及一种用于电子元器件的硅基铁电夹心结构,包括顶层Pt/Ti电极、PZT铁电薄膜、底层Pt/Ti电极、二氧化硅层、硅衬底,上述各层依次排列,还包括PT层,所述的PT层分别置于顶层Pt/Ti电极与PZT铁电薄膜之...
- 任天令张林涛刘理天李志坚
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- 用于微麦克风和扬声器的悬臂式振膜结构及其制备方法
- 本发明涉及用于微麦克风和扬声器的悬臂式振膜结构及其制备方法,首先在单晶硅衬底淀积一层氮化硅,硅衬底背面腐蚀,形成背腔,在氮化硅上淀积一层二氧化硅,射频磁控溅射金属Pt/Ti层,再光刻金属Pt/Ti层,以形成底层电极;用溶...
- 任天令张林涛李志坚刘理天
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- 铁电—硅集成微麦克风、扬声器设计
- 本文在现有PZT铁电薄膜的制备工艺基础上,提出了集成在同一芯片上的基于PZT铁电薄膜的压电型微麦克风、扬声器的结构,并对其灵敏度和声输出进行了理论计算.比较了基于PZT和ZnO两种材料的微麦克风和扬声器的性能差异.
- 任天令张林涛刘理天李志坚
- 关键词：微麦克风铁电薄膜
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- MEMS的研究与应用
- 2003年
- 本文介绍了 MEMS 的基本概念、基本特征和理论基础,并结合 MEMS 的发展史和制造技术,对MEMS 的应用领域作了重点阐述,最后对 MEMS 的发展前景和产业化的挑战作了分析。
- 杨轶张宁欣张林涛陈兢任天令刘理天
- 关键词：MEMS微电子机械系统传感器LIGA技术微机械加工
