谭智敏
- 作品数：42 被引量：91H指数：5
- 供职机构：清华大学更多>>
- 发文基金：国家攀登计划国家自然科学基金北京市科委项目更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术电气工程机械工程更多>>
- 紫外线厚胶光刻技术研究及应用被引量：7
- 2003年
- 紫外线厚胶光刻技术已广泛应用于 3D微机械结构的制作。本文选用AZ4 6 2 0和SU 8两种光刻厚胶 ,采用德国卡尔·休斯公司的MA 6双面对准光刻机 ,对紫外线光刻工艺条件进行了对比研究 ,结果表明 ,负性光刻胶SU 8的光敏性好 ,胶结构图形的侧墙较陡直 ,能够实现较大的深宽比 ,为复杂结构的三维微机械器件的制作提供了保证。
- 李雯谭智敏薛昕刘理天
- 关键词：SU-8
- 紫外厚胶光刻技术在3-D MEMS电感中的应用
- 研究了紫外厚胶光刻技术在三维微机械电感中的应用。实验用负性光刻胶SU-8构造了三维微机械电感的胶结构模型,并对光刻胶的工艺条件进行了研究。结果表明,负性光刻胶SU-8的光敏性好,形成的胶结构侧墙较陡直,能够实现较大的深宽...
- 李雯谭智敏薛昕刘理天
- 关键词：3-DMEMS电感
- 文献传递
- 一种新型硅基厚膜压力/温度传感器的设计和制作被引量：7
- 2006年
- 设计并制作了一种新型传感器,它包含压阻式压敏元件和热敏元件两部分.其中压敏元件采用比常规更厚的50μm硅杯薄膜(500μm×500μm),增大了体硅上高应力区的面积,在降低工艺要求的同时提高了线性测量范围和过载压力.压敏电阻设计为折线结构,采用优化的几何尺寸,并将其部分制作在高应力体硅上以获得更高灵敏度.体硅上的温敏电阻随压敏电阻利用同步注入工艺制作,减小了工艺复杂度.该器件工艺简单,成品率高,与标准IC工艺兼容.初步的测试结果表明器件具有良好的性能.
- 张艳红刘兵武刘理天张兆华谭智敏林惠旺
- 关键词：压阻效应应力分布
- 簧片式硅弹性膜应力分布的计算和加速度传感器的优化设计被引量：4
- 1998年
- 为了提高我们已研制成功的新型簧片式硅加速度传感器的性能，用有限元法计算了不同形状和尺寸的质量块在４０ｇ值加速度作用下产生的应力分布，使我们优选了最佳的质量块设计方案，显著地提高了灵敏度，取得了与理论计算符合得很好的实验结果。
- 刘理天谭智敏刘鸣温明生李英慧姚茂宏
- 关键词：有限元应力分布优化设计加速度传感器传感器
- 使用超声搅拌实现精密KOH各向异性体硅腐蚀被引量：2
- 2002年
- 对使用超声搅拌和不加搅拌时 (10 0 )单晶硅的腐蚀特性进行了研究和对比 .使用超声搅拌 ,可以得到光滑的、无小丘的腐蚀表面 ,整个硅片腐蚀深度的误差不超过 1μm.实验结果表明 ,该方法可以有效地实现精密
- 陈兢刘理天李志坚谭智敏蒋前哨方华军徐扬刘燕翔
- 关键词：各向异性腐蚀KOH硅表面粗糙度均匀性
- 基于微电子机械系统技术的高灵敏度电容式微传声器的研制被引量：5
- 2001年
- 基于微电子机械系统（ＭＥＭＳ）技术的微传声器是当前国际上研究的热点。使用 ＭＥＭＳＩ艺制备的薄膜一般有着不可忽视的残余应力，极大的降低了膜的机械灵敏度。理论分析和数值模拟表明，纹膜结构可在不改变工艺条件的前提下，显著的降低残余应力的不良影响，大幅度增加膜的灵敏度。本文提出了一种使用ＭＥＭＳ技术制作的纹膜结构电容式微传声器，其制作工艺简单、重复性好，所用材料也能与 ＩＣＩ艺很好的兼容。圆片级测试的结果表明，在 １０ Ｖ的偏置电压下，这种微传声器在 ７ ｋＨｚ以下具有平直的频响，开路灵敏度可达 ４０ ｍv／Ｐａ，而其占用的芯片面积仅为 １．５ ×ｌ．５ ｍｍ２。进一步的研究可望将信号处理电路集成于片内，形成完整的微声学系统。
- 陈兢刘理天李志坚谭智敏
- 关键词：微电子机械系统微传声器电容式高灵敏度
- 一种空气间隙的三维互连结构
- 本发明公开了属于三维集成技术领域的一种空气间隙的三维互连结构。该三维互连结构由贯穿整个芯片的通孔和通孔内的柱状导电体组成，通孔与柱状导电体之间为环形间隙；柱状导电体在突出于芯片的上下表面至少有一面有支撑头；芯片上下表面至...
- 王喆垚黄翠陈倩文谭智敏
- 汽车轮胎压力监控传感器研究
- 轮胎压力监视系统TPMS是一种重要的汽车安全用电子信息系统,它能够在汽车行驶过程中对轮胎气压以及温度进行自动监测,在轮胎漏气或者轮胎气压值过低过高时进行报警,提示驾驶人员及早采取必要的措施,以保障行车安全.分析了轮胎压力...
- 张兆华岳瑞峰谭智敏刘理天
- 关键词：压力传感器汽车电子轮胎压力监控系统微机电系统
- 文献传递
- 压阻式压力传感器零点输出及其温漂研究被引量：3
- 2007年
- 零点输出及零点温漂是传感器制造中的重要指标。结合设计制作的压阻式压力传感器重点分析了零点输出的产生机理,并对其接头和布线失配、复合层结构造成的应力分布、光刻随机误差造成的电阻失配及其他效应进行了量的分析。同时分析了它们对零点温漂的影响。最后,给出了一种整体设计流程来控制零点输出与提高成品率。
- 许东华林惠旺张兆华谭智敏刘理天
- 关键词：压阻式压力传感器
- 单片集成电容式硅基微传声器及其制作工艺
- 单片集成电容式硅基微传声器及其制作工艺属于硅基微传声器技术领域,其特征在于:上电极振膜在声学孔处有纹槽以大大降低膜的应力,并采用复合膜结构使其膜的张应力和压应力相互抵消,下电极板为用单晶硅衬底制作,在上、下电极间有绝缘层...
- 刘理天陈兢李志坚谭智敏
- 文献传递
