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张燕均

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：复旦大学更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 3篇电荷
  • 3篇铁电
  • 3篇铁电薄膜
  • 2篇氢离子
  • 2篇离子
  • 1篇电畴
  • 1篇电荷补偿
  • 1篇电荷屏蔽
  • 1篇电容
  • 1篇电容器
  • 1篇铁电电容器
  • 1篇微电子
  • 1篇物理机制
  • 1篇相对介电常数
  • 1篇离子注入
  • 1篇介电
  • 1篇半导体
  • 1篇PZT

机构

  • 3篇复旦大学

作者

  • 3篇张燕均
  • 2篇江安全
  • 1篇汤庭鳌
  • 1篇翁旭东
  • 1篇张鑫
  • 1篇万海军

年份

  • 1篇2011
  • 2篇2008
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
离子注入下铁电薄膜的反铁电现象及其机理研究
铁电薄膜有着非常广泛的应用，利用铁电薄膜的极化取向随外场的方向而发生的变化以及极化在外场之后的保持特性，能够应用于存储领域，如铁电非挥发薄膜随机存储器件;利用铁电薄膜晶体的压电特性，可以应用在传感器领域，如悬臂梁，压力传...
张燕均
关键词：铁电薄膜电荷屏蔽
文献传递
一种高密度电荷存储的铁电电容器及其制造方法
本发明属于半导体器件技术领域，具体为一种高密度电荷存储的新型铁电电容器及其制作方法。本发明利用氢离子注入到铁电薄膜内部，改变原有的铁电特性，形成新的反铁电特性，这种新的反铁电特性能够使得新型铁电薄膜电容器存储以及释放更多...
张燕均江安全汤庭鳌
文献传递
一种赝反铁电薄膜的制备方法
本发明属于微电子技术领域，涉及一种赝反铁电薄膜的制备方法。它通过一定剂量和能量的氢离子注入掺杂，在铁电薄膜中形成一种稳定分布的掺杂离子，通过电荷补偿模式改变铁电薄膜畴的翻转特性。通过本发明方法，能够在任意成份比例的铁电薄...
翁旭东万海军张燕均张鑫江安全
文献传递
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