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翁旭东
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8
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复旦大学
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相关领域:
理学
一般工业技术
自动化与计算机技术
电气工程
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合作作者
江安全
复旦大学
万海军
复旦大学
沈臻魁
复旦大学
陈志辉
复旦大学
张鑫
复旦大学
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机构
8篇
复旦大学
作者
8篇
翁旭东
7篇
江安全
3篇
万海军
2篇
陈志辉
2篇
沈臻魁
1篇
张燕均
1篇
张鑫
年份
3篇
2012
3篇
2011
1篇
2010
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一种基于金属/反铁电薄膜/金属氧化物/半导体场效应管结构的存储器单元
本发明属半导体存储器件领域,涉及基于场效应管结构的非破坏性读取的非挥发存储器件。尤其涉及一种基于金属/反铁电薄膜/金属氧化物/半导体场效应管结构的存储器单元,包括:衬底;金属氧化物层,反铁电薄膜,栅电极;所述金属氧化物层...
江安全
翁旭东
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一种快速测量铁电薄膜印刻效应的方法
本发明属微电子技术领域,涉及铁电薄膜印刻效应的测试方法。本发明通过测量铁电薄膜极化反转电流快速测量铁电薄膜印刻效应,其包括:(1)加一个产生印刻效应的脉冲电压后,立刻再加一个与此印刻电压相反极性的脉冲电压并测量铁电薄膜的...
江安全
翁旭东
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基于金属/反铁电PZT薄膜/氧化铝/硅结构的反铁电存储器的制备及性能研究
近年来,铁电存储器因具有低功耗、读写速度快、器件尺寸任意减小性和存储密度高等优点而得到广泛关注,其中金属/铁电/绝缘层/硅(MFIS)结构的铁电存储器更是具有非破坏性读取以及与CMOS工艺兼容等特点而成为铁电存储器未来发...
翁旭东
关键词:
数据保持
文献传递
一种基于金属/反铁电薄膜/金属氧化物/半导体场效应管结构的存储器单元
本发明属半导体存储器件领域,涉及基于场效应管结构的非破坏性读取的非挥发存储器件。尤其涉及一种基于金属/反铁电薄膜/金属氧化物/半导体场效应管结构的存储器单元,包括:衬底;金属氧化物层,反铁电薄膜,栅电极;所述金属氧化物层...
江安全
翁旭东
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一种具有高热释电性能的反铁电薄膜制备方法
本发明属于微电子技术领域,涉及一种具有高热释电性能的反铁电薄膜制备方法。本发明利用反铁电薄膜在某一临界厚度以下显示铁电性而在此临界厚度以上显示反铁电性的特征,构建一层凹凸有致具有多种不同厚度的台阶状反铁电薄膜,每一阶台阶...
万海军
翁旭东
陈志辉
沈臻魁
江安全
文献传递
一种快速测量铁电薄膜印刻效应的方法
本发明属微电子技术领域,涉及铁电薄膜印刻效应的测试方法。本发明通过测量铁电薄膜极化反转电流快速测量铁电薄膜印刻效应,其包括:(1)加一个产生印刻效应的脉冲电压后,立刻再加一个与此印刻电压相反极性的脉冲电压并测量铁电薄膜的...
江安全
翁旭东
一种赝反铁电薄膜的制备方法
本发明属于微电子技术领域,涉及一种赝反铁电薄膜的制备方法。它通过一定剂量和能量的氢离子注入掺杂,在铁电薄膜中形成一种稳定分布的掺杂离子,通过电荷补偿模式改变铁电薄膜畴的翻转特性。通过本发明方法,能够在任意成份比例的铁电薄...
翁旭东
万海军
张燕均
张鑫
江安全
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一种具有高热释电性能的反铁电薄膜制备方法
本发明属于微电子技术领域,涉及一种具有高热释电性能的反铁电薄膜制备方法。本发明利用反铁电薄膜在某一临界厚度以下显示铁电性而在此临界厚度以上显示反铁电性的特征,构建一层凹凸有致具有多种不同厚度的台阶状反铁电薄膜,每一阶台阶...
万海军
翁旭东
陈志辉
沈臻魁
江安全
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