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卓敏

作品数：4 被引量：0H指数：0
供职机构：中国电子科技集团公司第五十五研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇中文专利

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 2篇圆片
  • 2篇真空
  • 2篇真空热处理
  • 2篇湿法腐蚀
  • 2篇腔体
  • 2篇腔体结构
  • 2篇热处理温度
  • 2篇钛酸
  • 2篇钛酸锶
  • 2篇钛酸锶钡
  • 2篇钛酸锶钡薄膜
  • 2篇梁结构
  • 2篇晶化
  • 2篇刻蚀
  • 2篇键合
  • 2篇键合工艺
  • 2篇光敏性
  • 2篇干法刻蚀

机构

  • 4篇中国电子科技...

作者

  • 4篇卓敏
  • 4篇朱健
  • 2篇贾世星
  • 2篇张龙
  • 2篇刘梅
  • 2篇林立强
  • 2篇吴璟

年份

  • 1篇2011
  • 1篇2010
  • 1篇2007
  • 1篇2005
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
钛酸锶钡薄膜材料的制备方法
本发明在制备钛酸锶钡靶材的原材料中添加微量的敏化剂和成核剂，在磁控溅射过程中使这类添加剂均匀地转移到薄膜中去，通过适当的晶化处理能够强化在薄膜的非晶态固体中均匀地析出大量微晶化晶体，并使其生长，这种方法可显著地提高所制薄...
林立强朱健张龙卓敏吴璟
文献传递
一种减小微悬浮结构在化学机械减薄抛光中变形工艺方法
本发明是一种减小微悬浮结构在化学机械减薄抛光中变形的工艺方法，其特征是用于化学机械减薄抛光的圆片为采用键合工艺形成的三维二层圆片，根据MEMS器件的设计要求，在需要减薄抛光的圆片背面有湿法腐蚀或干法刻蚀形成的腔体阵列，腔...
朱健贾世星卓敏刘梅
钛酸锶钡薄膜材料的制备方法
本发明在制备钛酸锶钡靶材的原材料中添加微量的敏化剂和成核剂，在磁控溅射过程中使这类添加剂均匀地转移到薄膜中去，通过适当的晶化处理能够强化在薄膜的非晶态固体中均匀地析出大量微晶化晶体，并使其生长，这种方法可显著地提高所制薄...
林立强朱健张龙卓敏吴璟
文献传递
一种减小微悬浮结构在化学机械减薄抛光中变形工艺方法
本发明是一种减小微悬浮结构在化学机械减薄抛光中变形的工艺方法，其特征是用于化学机械减薄抛光的圆片为采用键合工艺形成的三维二层圆片，根据MEMS器件的设计要求，在需要减薄抛光的圆片背面有湿法腐蚀或干法刻蚀形成的腔体阵列，腔...
朱健贾世星卓敏刘梅
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