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刘洪志
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中国科学院电子学研究所
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合作作者
朱敏慧
中国科学院电子学研究所
刘光诒
中国科学院电子学研究所
富军
中国科学院电子学研究所
吕永积
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真空微电子平板摄像管(VME-FPC)靶材的改进
研制一种适用于真空微电子平板摄像管(VME-FPC)的高灵敏度的CdSe多层光导靶材,改建了一台兼有氧化与再结晶双重功能的炉子,发展了新的由真空预热处理(VHPT)与非真空热后处理(NHAT)二种工艺组成的热处理工艺,采...
吕永积
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