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国家自然科学基金(51205226)

作品数：5 被引量：19H指数：3
相关作者：王同庆赵德文何永勇路新春门延武更多>>
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共 6 条 记 录，以下是 1-6
路新春
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 晶圆 抛光液 抛光垫 抛光
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赵德文
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 解析解 晶圆 基板 拉拔
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王同庆
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 晶圆 CMP 抛光液 抛光垫
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
何永勇
供职机构：清华大学
研究主题：晶圆 故障诊断 化学机械抛光 抛光液 旋转机械
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
韩桂全
供职机构：清华大学
研究主题：抛光垫 化学机械抛光 工作表面 工艺技术 化学机械平坦化
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
门延武
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 压力源 晶圆 半导体制造技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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