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国家自然科学基金(51205226)

作品数:5 被引量:19H指数:3
相关作者:王同庆赵德文何永勇路新春门延武更多>>
相关机构:清华大学更多>>
发文基金:国家自然科学基金中国博士后科学基金创新研究群体科学基金更多>>
相关领域:电子电信机械工程化学工程更多>>

领域

  • 4个机械工程
  • 4个电子电信
  • 3个化学工程
  • 3个交通运输工程
  • 2个经济管理
  • 2个生物学
  • 2个天文地球
  • 2个矿业工程
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  • 2个冶金工程
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  • 2个电气工程
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  • 2个建筑科学
  • 2个水利工程
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  • 2个环境科学与工...
  • 2个核科学技术

主题

  • 4个铜互连
  • 4个抛光
  • 4个抛光垫
  • 4个晶圆
  • 4个互连
  • 4个化学机械抛光
  • 4个机械抛光
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  • 4个非均匀性
  • 4个300MM晶...
  • 4个材料去除率
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  • 1个大网膜
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机构

  • 4个清华大学
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  • 1个北京舞蹈学院
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作者

  • 4个路新春
  • 4个门延武
  • 4个韩桂全
  • 4个何永勇
  • 4个赵德文
  • 4个王同庆
  • 2个丁亮
  • 1个张晓华
  • 1个张晓华
  • 1个张晓华
  • 1个张晓华
  • 1个丁为民
  • 1个丁为民
  • 1个丁亮
  • 1个丁俊男
  • 1个丁俊萍
  • 1个丁克强
  • 1个丁兵
  • 1个丁军桥
  • 1个丁剑平

传媒

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  • 2个地球学报
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  • 1个行政与法
  • 1个光机电信息
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  • 1个人民论坛
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中国博士后科学基金(2012M510420)
相关领域:机械工程 电子电信 化学工程
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中国博士后科学基金
相关领域:经济管理 医药卫生 自动化与计算机技术 理学 农业科学
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创新研究群体科学基金
相关领域:天文地球 理学 水利工程 自动化与计算机技术 建筑科学
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创新研究群体科学基金(51021064)
相关领域:机械工程 交通运输工程 电子电信
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