您的位置： 专家智库 > >

国家自然科学基金(60727003)

作品数：8 被引量：27H指数：3
相关作者：李超波夏洋汪明刚刘邦武刘杰更多>>
相关机构：中国科学院微电子研究所昆明理工大学中国科学院嘉兴微电子仪器与设备工程中心更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家科技重大专项中国科学院科研装备研制项目更多>>
相关领域：电子电信一般工业技术自动化与计算机技术理学更多>>

领域

  • 22个电子电信
  • 15个一般工业技术
  • 14个理学
  • 13个电气工程
  • 12个化学工程
  • 12个金属学及工艺
  • 12个自动化与计算...
  • 9个机械工程
  • 7个文化科学
  • 5个交通运输工程
  • 3个冶金工程
  • 3个航空宇航科学...
  • 3个农业科学
  • 2个矿业工程
  • 2个轻工技术与工...
  • 1个建筑科学
  • 1个医药卫生

主题

  • 18个等离子体
  • 18个刻蚀
  • 15个原子层沉积
  • 15个金属
  • 13个电流
  • 13个离子注入
  • 12个单晶
  • 12个电池
  • 11个氮化镓
  • 11个等离子
  • 11个等离子体浸没...
  • 11个电路
  • 10个等离子体刻蚀
  • 10个氧化锌
  • 10个石墨
  • 9个氮化
  • 9个氮化铝
  • 7个单晶硅
  • 7个单晶硅片
  • 7个氮化铝薄膜

机构

  • 22个中国科学院微...
  • 5个浙江大学
  • 5个嘉兴科民电子...
  • 4个昆明理工大学
  • 3个北京科技大学
  • 3个中国科学院
  • 2个中国科学技术...
  • 2个中国科学院嘉...
  • 1个兰州大学
  • 1个山东科技大学
  • 1个中国铝业公司
  • 1个中国电子科技...

资助

  • 24个国家自然科学...
  • 19个国家科技重大...
  • 15个中国科学院科...
  • 8个国家高技术研...
  • 6个中国博士后科...
  • 5个国家重点基础...
  • 5个中国科学院知...
  • 2个北京市自然科...
  • 2个教育部科学技...
  • 2个云南省自然科...
  • 2个北京市科技计...
  • 2个云南省应用基...
  • 2个云南省科技计...
  • 2个云南省科技厅...
  • 2个辽宁省科技厅...
  • 1个山东省优秀中...
  • 1个山东省自然科...
  • 1个北京市教委科...
  • 1个国家重点实验...
  • 1个应用光学国家...

传媒

  • 17个半导体技术
  • 9个微纳电子技术
  • 8个激光与光电子...
  • 8个现代电子技术
  • 7个物理学报
  • 7个真空科学与技...
  • 6个光电工程
  • 6个固体电子学研...
  • 6个传感器与微系...
  • 5个太阳能学报
  • 5个金属热处理
  • 5个无机材料学报
  • 5个核聚变与等离...
  • 5个仪表技术与传...
  • 5个2010年全...
  • 5个2010’全...
  • 4个北京科技大学...
  • 4个电子工艺技术
  • 4个热加工工艺
  • 4个功能材料

地区

  • 20个北京市
  • 3个云南省
共 24 条 记 录，以下是 1-10
李超波
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 氧化锌薄膜 离子注入 等离子体 共掺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
夏洋
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 等离子体浸没离子注入 刻蚀 VDMOS 等离子体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
汪明刚
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：等离子体 等离子体浸没离子注入 离子注入 离子 浸没
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘杰
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：等离子体浸没离子注入 离子注入 等离子体 离子 薄膜封装
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘邦武
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：SUB 等离子喷涂 陶瓷涂层 等离子体喷涂 等离子体浸没离子注入
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨威风
供职机构：中国电子科技集团公司第十六研究所
研究主题：超浅结 发光二极管 感应耦合等离子体 GAN外延生长 内量子效率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈波
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：硅衬底 半导体制造技术 基片 化学吸附 前驱体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李勇滔
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：硅衬底 等离子体 SUB 射频电源 离子注入
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
罗小晨
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：离子注入 等离子体 等离子体浸没离子注入 等离子喷涂 离子
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
夏洋
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 等离子体 氧化锌薄膜 SUB 共掺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
全选 清除 导出
共3页<123>
聚类工具0