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国家自然科学基金(60727003)

作品数：8 被引量：27H指数：3
相关作者：李超波夏洋汪明刚刘邦武刘杰更多>>
相关机构：中国科学院微电子研究所昆明理工大学中国科学院嘉兴微电子仪器与设备工程中心更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家科技重大专项中国科学院科研装备研制项目更多>>
相关领域：电子电信一般工业技术自动化与计算机技术理学更多>>

领域

  • 5个电子电信
  • 4个一般工业技术
  • 4个理学
  • 3个金属学及工艺
  • 3个电气工程
  • 3个自动化与计算...
  • 2个经济管理
  • 2个生物学
  • 2个天文地球
  • 2个化学工程
  • 2个石油与天然气...
  • 2个冶金工程
  • 2个机械工程
  • 2个动力工程及工...
  • 2个建筑科学
  • 2个交通运输工程
  • 2个航空宇航科学...
  • 2个环境科学与工...
  • 2个核科学技术
  • 2个医药卫生

主题

  • 5个等离子
  • 5个等离子体
  • 5个射频电源
  • 5个匹配网络
  • 5个全反射
  • 5个全固态
  • 5个阻抗匹配
  • 5个阻抗匹配网络
  • 5个E类
  • 4个等离子体浸没...
  • 4个原子层沉积
  • 4个键合
  • 4个键合技术
  • 4个SI
  • 4个INP
  • 3个等离子喷涂
  • 3个氧化钇
  • 3个涂层
  • 3个喷涂
  • 3个离子喷涂

机构

  • 6个中国科学院微...
  • 5个昆明理工大学
  • 4个兰州大学
  • 2个北京中医药大...
  • 2个长春理工大学
  • 2个成都理工大学
  • 2个大连工业大学
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  • 1个安徽省农业科...
  • 1个安徽新华学院
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  • 1个北方工业大学
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  • 1个北京跟踪与通...
  • 1个北京工商大学
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  • 1个北京航空工程...
  • 1个北京矿产地质...
  • 1个北京市药品检...

作者

  • 6个刘邦武
  • 6个李超波
  • 6个夏洋
  • 5个李英杰
  • 5个赵章琰
  • 5个许晓平
  • 5个李勇滔
  • 5个秦威
  • 4个陈波
  • 4个刘杰
  • 3个王文东
  • 3个罗小晨
  • 3个李勇涛
  • 1个张晓华
  • 1个张晓华
  • 1个张晓华
  • 1个丁丰
  • 1个丁为民
  • 1个丁亮

传媒

  • 5个半导体技术
  • 4个电子工艺技术
  • 4个真空科学与技...
  • 3个物理学报
  • 3个金属热处理
  • 2个分析化学
  • 2个植物生态学报
  • 2个现代科学仪器
  • 1个分子科学学报
  • 1个化工科技
  • 1个光机电信息
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  • 1个今日制造与升...
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  • 1个中国科技论坛
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  • 1个中国药物依赖...
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共 6 条 记 录，以下是 1-6
国家科技重大专项
相关领域：医药卫生 石油与天然气工程 天文地球 环境科学与工程 农业科学
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国家科技重大专项(2009ZX02037)
相关领域：电子电信 一般工业技术 理学 自动化与计算机技术 电气工程
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中国科学院科研装备研制项目
相关领域：理学 机械工程 电子电信 自动化与计算机技术 天文地球
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中国科学院科研装备研制项目(YZ200940)
相关领域：电子电信
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中国科学院科研装备研制项目(YZ200755)
相关领域：电子电信 理学
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国家科技重大专项(2008ZX02101-3)
ICP刻蚀工艺腔室内表面条件关键技术的研究
相关领域：一般工业技术 金属学及工艺
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