张国栋
作品数: 1被引量:1H指数:1
  • 所属机构:北京有色金属研究总院
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:电子电信

相关作者

葛钟
作品数:3被引量:1H指数:1
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅片表面 SI 化学机械抛光 抛光垫 抛光
黄军辉
作品数:3被引量:10H指数:1
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:300MM硅片 DSP 非均匀性 SI 化学机械抛光
陈海滨
作品数:2被引量:1H指数:1
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:SI 化学机械抛光 抛光垫 抛光 使用期
索思卓
作品数:7被引量:12H指数:1
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:抛光 SI 硅片 300MM硅片 平整度
盛方毓
作品数:5被引量:1H指数:1
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:SI 硅片清洗 加热室 化学机械抛光 抛光垫