索思卓
作品数: 7被引量:12H指数:1
  • 所属机构:北京有色金属研究总院
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:电子电信
  • 发文基金:国家高技术研究发展计划

相关作者

库黎明
作品数:26被引量:35H指数:4
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅片 抛光 300MM硅片 平整度 硅片表面
闫志瑞
作品数:19被引量:90H指数:5
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅片 硅片清洗 300MM硅片 硅片表面 清洗工艺
陈海滨
作品数:2被引量:1H指数:1
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:SI 化学机械抛光 抛光垫 抛光 使用期
葛钟
作品数:3被引量:1H指数:1
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅片表面 SI 化学机械抛光 抛光垫 抛光
盛方毓
作品数:5被引量:1H指数:1
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:SI 硅片清洗 加热室 化学机械抛光 抛光垫