-
葛钟
-
-
- 所属机构:北京有色金属研究总院
- 所在地区:北京市
- 研究方向:电子电信
相关作者
- 索思卓
- 作品数:7被引量:12H指数:1
- 供职机构:北京有色金属研究总院
- 研究主题:抛光 SI 硅片 300MM硅片 平整度
- 盛方毓
- 作品数:5被引量:1H指数:1
- 供职机构:北京有色金属研究总院
- 研究主题:SI 硅片清洗 加热室 化学机械抛光 抛光垫
- 库黎明
- 作品数:26被引量:35H指数:4
- 供职机构:北京有色金属研究总院
- 研究主题:硅片 抛光 300MM硅片 平整度 硅片表面
- 陈海滨
- 作品数:2被引量:1H指数:1
- 供职机构:北京有色金属研究总院
- 研究主题:SI 化学机械抛光 抛光垫 抛光 使用期
- 张国栋
- 作品数:1被引量:1H指数:1
- 供职机构:北京有色金属研究总院
- 研究主题:SI 化学机械抛光 抛光垫 抛光 使用期