王云彪
作品数: 20被引量:38H指数:4
  • 所属机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
  • 所在地区:天津市
  • 研究方向:电子电信
  • 发文基金:国家科技部专项基金

相关作者

杨洪星
作品数:100被引量:101H指数:6
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:锗 单晶片 抛光片 晶片 表面粗糙度
田原
作品数:13被引量:11H指数:3
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:锗 粗糙度 抛光片 化学机械抛光 硅
赵权
作品数:30被引量:79H指数:6
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:抛光片 锗 单晶片 表面粗糙度 清洗技术
耿莉
作品数:6被引量:9H指数:3
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:锗 抛光片 超薄 表面粗糙度 单晶
陈亚楠
作品数:12被引量:28H指数:3
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:锗 抛光 清洗技术 硅抛光片 抛光垫