田原
作品数: 13被引量:11H指数:3
  • 所属机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
  • 所在地区:天津市
  • 研究方向:电子电信

相关作者

王云彪
作品数:20被引量:38H指数:4
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:抛光片 锗 表面粗糙度 超薄 磷化铟
耿莉
作品数:6被引量:9H指数:3
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:锗 抛光片 超薄 表面粗糙度 单晶
范红娜
作品数:5被引量:4H指数:1
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:清洗技术 抛光片 粗糙度 锗 研磨
陈亚楠
作品数:12被引量:28H指数:3
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:锗 抛光 清洗技术 硅抛光片 抛光垫
杨静
作品数:12被引量:11H指数:2
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:化学腐蚀 MEMS 研磨 测厚 硅