赵权
作品数: 30被引量:79H指数:6
  • 所属机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
  • 所在地区:天津市
  • 研究方向:电子电信
  • 发文基金:国家高技术研究发展计划

相关作者

杨洪星
作品数:100被引量:101H指数:6
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:锗 单晶片 抛光片 晶片 表面粗糙度
刘春香
作品数:16被引量:34H指数:4
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:锗 单晶片 粗糙度 超薄 清洗技术
吕菲
作品数:16被引量:42H指数:4
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:粗糙度 抛光片 化学腐蚀 单晶片 锗
张伟才
作品数:26被引量:44H指数:4
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:锗 抛光片 化学机械抛光 机械强度 IPA
王云彪
作品数:20被引量:38H指数:4
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:抛光片 锗 表面粗糙度 超薄 磷化铟