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王欣

作品数：2 被引量：9H指数：1
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

领域

  • 2个电子电信
  • 1个机械工程
  • 1个自动化与计算...
  • 1个建筑科学

主题

  • 2个碳化硅
  • 2个抛光
  • 1个单点
  • 1个单晶
  • 1个氮化镓
  • 1个弹流
  • 1个弹流润滑
  • 1个导轨
  • 1个第三代半导体
  • 1个电子材料
  • 1个定位控制
  • 1个端盖
  • 1个多线切割机
  • 1个性能研究
  • 1个修整器
  • 1个旋转工作台
  • 1个压力控制
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  • 1个优化设计
  • 1个有限元

机构

  • 2个中国电子科技...
  • 1个电子工业部
  • 1个中华人民共和...
  • 1个中国电子科技...

资助

  • 1个国家自然科学...
  • 1个中国博士后科...
  • 1个国家科技重大...
  • 1个北京市教育委...
  • 1个中央高校基本...

传媒

  • 2个电子工业专用...
  • 1个半导体技术
  • 1个机械工程学报
  • 1个微细加工技术
  • 1个集成电路应用
  • 1个微纳电子技术
共 2 条 记 录，以下是 1-2
衣忠波
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：金刚石 抛光 碳化硅 闭环控制 闭环
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
柳滨
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：CMP 化学机械抛光 化学机械平坦化 抛光液 半导体材料
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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