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刘春香
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供职机构:
中国电子科技集团公司
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电子电信
金属学及工艺
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合作作者
杨洪星
中国电子科技集团公司
赵权
中国电子科技集团公司
吕菲
中国电子科技集团公司
吕菲
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于妍
中国电子科技集团公司
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杨洪星
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:锗 单晶片 抛光片 晶片 表面粗糙度
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赵权
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:单晶片 锗 锗单晶 晶片 抛光片
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吕菲
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:单晶片 锗 晶片 清洗工艺 抛光液
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佟丽英
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:单晶片 抛光片 电阻率 硅单晶 少子寿命
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于妍
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:酸腐蚀 翘曲 单晶片 翘曲度 冰乙酸
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吕菲
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:化学机械抛光 抛光 表面粗糙度 VB 抛光片
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张伟才
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:硅单晶 锗 单晶片 晶片 硅片
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王建利
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:GAAS 衬底材料 VB 旋转轴 固定件
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李响
供职机构:中国电子科技集团公司第四十七研究所
研究主题:表面粗糙度 VB 抛光片 抛光技术 砷化镓
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纪秀峰
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:微波 英寸 砷化镓 压延 高介电常数
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