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许蔚
作品数:
29
被引量:4
H指数:1
供职机构:
中国工程物理研究院电子工程研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
唐彬
中国工程物理研究院电子工程研究...
苏伟
中国工程物理研究院电子工程研究...
张照云
中国工程物理研究院电子工程研究...
熊壮
中国工程物理研究院电子工程研究...
刘显学
中国工程物理研究院电子工程研究...
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唐彬
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:加速度计 极板 微加速度计 石英 结构层
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张照云
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:石英 极板 加速度计 刻蚀 结构层
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所获资助
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苏伟
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:加速度计 石英 键合 刻蚀 结构层
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供职机构
所获资助
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熊壮
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:石英 加速度计 极板 MEMS 惯性开关
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刘显学
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:极板 加速度计 石英 微机械陀螺 微加速度计
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谢国芬
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:极板 微加速度计 加速度计 温度稳定性 闭环
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彭勃
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:加速度计 结构层 掩膜 石英 微加速度计
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杨杰
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:极板 微加速度计 石英 微开关 加速度计
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曲兵兵
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:极板 微加速度计 微加速度传感器 杨氏模量 温度系数
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李枚
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:MEMS 加速度计 微电子机械系统 微加速度计 易加工
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