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刘斌
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41
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H指数:5
供职机构:
中国科学院半导体研究所
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电子电信
动力工程及工程热物理
金属学及工艺
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合作作者
孙国胜
中国科学院半导体研究所
刘兴昉
中国科学院半导体研究所
曾一平
中国科学院半导体研究所
刘胜北
中国科学院半导体研究所
闫果果
中国科学院半导体研究所
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孙国胜
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:碳化硅 3C-SIC 衬底 4H-SIC SIC
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刘兴昉
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:碳化硅 衬底 外延层 刻蚀 碳化硅材料
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曾一平
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:分子束外延 衬底 碳化硅 氮化镓 缓冲层
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闫果果
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:碳化硅 外延层 衬底 硅源 碳化硅衬底
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刘胜北
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:碳化硅 刻蚀 半导体薄膜 肖特基二极管 势垒
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张峰
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:碳化硅 衬底 掺杂 硅源 沟槽
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王雷
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:碳化硅 3C-SIC 衬底 SIC 4H-SIC
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赵万顺
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:碳化硅 衬底 3C-SIC 外延层 4H-SIC
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郑柳
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:4H-SIC 碳化硅 肖特基二极管 真空系统 薄膜生长
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马骁宇
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:半导体激光器 激光器 半导体可饱和吸收镜 热沉 激光二极管
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