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许鹏
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10
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供职机构:
中国电子科技集团第十三研究所
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机械工程
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合作作者
杨拥军
中国电子科技集团第十三研究所
李博
中国电子科技集团第十三研究所
王帆
中国电子科技集团第十三研究所
李倩
中国电子科技集团第十三研究所
徐爱东
中国电子科技集团第十三研究所
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杨拥军
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:MEMS 微电子机械系统 微机械 硅 传感器
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李博
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:微电子机械系统 MEMS陀螺仪 MEMS MEMS器件 角速度
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徐爱东
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:加速度 传感器 硅 角速率 速率传感器
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郑锋
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研究主题:硅 电容式加速度计 译码器 测试系统 惯性器件
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任臣
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研究主题:微电子机械系统 MEMS MEMS陀螺 MEMS陀螺仪 专用集成电路
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卢新艳
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:MEMS陀螺仪 测试系统 惯性器件 陀螺仪 微电子机械系统
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李倩
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:MEMS 微电子机械系统 微机械加工 毫米波 X波段
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王帆
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:MEMS陀螺仪 工艺技术要求 课程体系建设 课程体系 职业教育
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汪蔚
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:MEMS 微电子机械系统 硅基 磁性材料 衬底
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王玉奎
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:MEMS加速度传感器 MEMS 空气流量计 粮情检测系统 粮情检测
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